[发明专利]真空泵、真空泵的固定方法、外装体、辅助凸缘及变换凸缘

说明书

本发明提供能够使用设置于通常的标准件的固定部(螺栓螺纹孔)将辅助凸缘固定于装置侧的真空泵。本发明的实施方式的真空泵中，还设置有用于固定辅助凸缘（213）的变换凸缘（200），使用设置于标准件的螺栓螺纹孔将该变换凸缘（200）和装置侧凸缘（100）固定，且将该变换凸缘和辅助凸缘固定(以下将用于变换辅助凸缘（213）和装置侧凸缘（100）的紧固连结位置的零件称作变换凸缘)。这样，能够在以往不改变标准件的设计的情况下用辅助凸缘（213）将真空泵和装置固定。

技术领域

本发明涉及能够应对异常时产生的转矩的真空泵、真空泵的固定方法、外装体、辅助凸缘及变换凸缘。

背景技术

涡轮分子泵、螺纹槽式泵等分子泵(真空泵)用于半导体制造装置中的排气、电子显微镜等的需要高真空的真空容器。

在这样的真空泵，通常设置有既定尺寸的凸缘，与需要排气的装置(以下称为装置)的排气口的凸缘(以下称为装置侧凸缘)借助螺栓等固定。

真空泵的凸缘(以下将真空泵的凸缘称作吸气口凸缘)和装置侧凸缘之间通过隔着O型圈地固定来保持高度的气密性。

在真空泵设置有被旋转自如地支承而能够借助马达高速旋转的转子、固定于真空泵的罩内部的定子。并且，通过马达高速旋转，由于转子和定子的相互作用，发挥排气作用。通过该排气作用，从真空泵的吸气口抽吸装置侧的气体，从排气口排气。这样实现装置内的高真空状态。

通常，真空泵在分子流区域(真空度高而分子彼此碰撞的频率小的区域)排出气体。为了在该分子流区域发挥排气能力，转子需要每分钟3万转左右的高速旋转。

但是，分子泵的运转中发生某问题而转子与定子、其他固定于真空泵内的部件碰撞的情况下，转子的角运动量向定子、其他固定部件传递，瞬时产生使真空泵整体向转子的旋转方向旋转的较大的转矩。该转矩经由凸缘向装置侧也施加较大的应力。若假如转矩被向装置侧传递，则对将吸气口凸缘和装置侧凸缘固定的螺栓作用剪切力，有螺栓破损，或根据情况也有分子泵下落的可能。

这样的状况下，对于装置内部的产品产生不良影响，也有内部的气体(也有有毒气体的情况)泄漏的可能。

因此，为了缓和这样的转矩产生的冲击，例如，以往在吸气口凸缘设置相对于转矩的缓冲部件等各种各样的方案被提出。

专利文献1：日本特开2017-14945号。

图15是说明专利文献1所公开的涡轮分子泵的概略情况的图。该涡轮分子泵中，将吸气口凸缘211和装置侧凸缘(排气口凸缘)100固定时，不将两者直接固定，经由分体的辅助凸缘213将两者固定 (以下，将吸气口凸缘211和装置侧凸缘100紧固连结时，将用于在两者之间固定的部件设为辅助凸缘)。

即，使辅助凸缘213的夹持部222与吸气口凸缘211的背面(与密封面相反的一侧的面)抵接的状态下，使用螺栓105将紧固连结部223紧固连结于装置侧凸缘100。并且，若将紧固连结部223用螺栓紧固连结于装置侧凸缘100，则吸气口凸缘211被夹持于夹持部222和装置侧凸缘100之间。因此，吸气口凸缘211和装置侧凸缘100通过O型圈密封110而被固封。

根据这样的固定方法，吸气口凸缘211和装置侧凸缘100未被直接固定，所以即使产生由转矩产生的冲击，两者也会互相滑动，所以能够使传向装置侧的转矩以某种程度减少。

但是，若将这样的技术应用于真空泵，则吸气口凸缘211不会直接固定于装置侧凸缘100，仅被辅助凸缘213的夹持部222和装置侧凸缘100夹持，所以由于转矩产生的冲击，涡轮分子泵(真空泵)大幅旋转。此时，力作用于与该真空泵连接的排气配管、电气缆线而发生损伤，进而由于移动的配管、缆线，也有对装置造成损伤的可能。