[发明专利]背面研磨带在审
| 申请号: | 202010128597.3 | 申请日: | 2020-02-28 |
| 公开(公告)号: | CN111748293A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
| 发明(设计)人: | 河野广希 | 申请(专利权)人: | 日东电工株式会社 |
| 主分类号: | C09J7/29 | 分类号: | C09J7/29;C09J7/30;C09J133/08;C09J11/08;C09J11/06;H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 背面 研磨 | ||
1.一种背面研磨带,其具备:基材、和在该基材的一面形成的粘合剂层,
该粘合剂层由包含基础聚合物及增粘剂的活性能量射线固化型粘合剂组合物形成,
该增粘剂的重均分子量为300以上、并且羟值为50mgKOH/g~500mgK OH/g,
该粘合剂组合物中的该增粘剂的含量相对于基础聚合物100重量份为5重量份以上,
该粘合剂层的活性能量射线照射前的粘合力为15N/20mm以上。
2.根据权利要求1所述的背面研磨带,其中,所述粘合剂层的活性能量射线照射后的粘合力为1.0N/20mm以下。
3.根据权利要求1或2所述的背面研磨带,其中,所述粘合剂层的活性能量射线照射前的拉伸模量为0.15MPa以上。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的背面研磨带,其中,所述增粘剂为选自由萜烯酚系树脂、松香酚系树脂、烷基酚树脂组成的组中的至少1种。
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