[发明专利]显示基板及其制作方法、和显示装置有效
申请号: | 202010112313.1 | 申请日: | 2020-02-24 |
公开(公告)号: | CN111180470B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 黄勇潮;王庆贺;王海涛;刘军;成军;赵策;闫梁臣 | 申请(专利权)人: | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 230012 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
本发明提供一种显示基板及其制作方法、和显示装置,其中,显示基板包括位于衬底基板上沿第一方向延伸的第一导电走线、沿第二方向延伸的第二导电走线、以及位于所述第一导电走线和所述第二导电走线之间的绝缘层;其中,还包括位于所述绝缘层靠近所述衬底基板一侧的缓冲层,所述缓冲层开设有沿所述第一延伸方向延伸的凹槽,所述第一导电走线远离所述衬底基板一侧表面与所述缓冲层远离所述衬底基板一侧表面齐平。本发明提供的显示基板及其制作方法、和显示装置,能够提高显示装置的可靠性。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示基板及其制作方法、和显示装置。
背景技术
随着相关显示装置分辨率的提高,TDDI(触控与显示驱动器集成)等新技术和驱动电路的复杂化,显示装置中尤其是LTPS产品不可避免的在各个区域存在交叉的金属驱动走线(如栅线和数据线)。在这些金属走线交叉的位置容易发生静电击穿,发生数据线和栅线短路不良(Data-Gate Short,DGS),进而导致显示异常的问题。
发明内容
本发明实施例提供一种显示基板及其制作方法、和显示装置,以解决相关技术中金属走线交叉的位置容易发生静电击穿,发生DGS,进而导致显示异常的问题。
为了解决上述技术问题,本发明提供技术方案如下:
第一方面,本发明实施例提供一种显示基板,包括位于衬底基板上沿第一方向延伸的第一导电走线、沿第二方向延伸的第二导电走线、以及位于所述第一导电走线和所述第二导电走线之间的绝缘层;所述第一导电走线和所述第二导电走线在目标区域交叉;其中,所述第一导电走线包括位于所述目标区域内的第一部分和除所述第一部分之外的第二部分,所述第一部分与所述绝缘层接触的表面与所述衬底基板平行。
进一步地,还包括位于所述绝缘层靠近所述衬底基板一侧的缓冲层,所述缓冲层开设有沿所述第一延伸方向延伸的凹槽,所述第一导电走线远离所述衬底基板一侧表面与所述缓冲层远离所述衬底基板一侧表面齐平。
进一步地,所述凹槽内还包括位于所述第一导电走线朝向所述衬底基板一侧的支撑图形,所述第一导电走线包括第三部分和第四部分,所述第三部分远离所述衬底基板一侧表面与所述第四部分远离所述衬底基板一侧表面齐平,所述第三部分在所述衬底基板上的正投影与所述支撑图形在所述衬底基板上的正投影重合。
进一步地所述支撑图形为导电图形。
第二方面,本发明实施例还提供一种显示基板的制作方法,所述方法包括:
提供衬底基板;
在所述衬底基板上形成沿第一方向延伸的第一导电走线;
在所述衬底基板上形成覆盖所述第一导电走线的绝缘层,所述第一导电走线包括位于所述目标区域内的第一部分和除所述第一部分之外的第二部分,所述第一部分与所述绝缘层接触的表面与所述衬底基板平行;
在所述绝缘层上形成沿第二方向延伸的第二导电走线,所述第二导电走线在所述目标区域内与所述第一导电走线交叉。
进一步地,在所述衬底基板上形成沿第一方向延伸的第一导电走线的步骤之前,还包括:
在所述衬底基板上形成缓冲材料层;
刻蚀所述缓冲材料层,形成缓冲层,所述缓冲层包括沿所述第一方向延伸的凹槽;
在所述衬底基板上形成沿第一方向延伸的第一导电走线的步骤,包括:
在所述凹槽内形成第一导电走线,所述第一导电走线远离所述衬底基板一侧表面与所述缓冲层远离所述衬底基板一侧表面齐平。
进一步地,在所述衬底基板上形成缓冲材料层的步骤之前,还包括:
在所述衬底基板上形成支撑材料层;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的