[发明专利]一种柔性屏搬运载台

权利要求书

1.一种柔性屏搬运载台，其特征在于，所述搬运载台包括载台基座(1)和设置于所述载台基座(1)上方的载台本体(2)，所述载台基座(1)与所述载台本体(2)之间形成负压腔(3)，所述载台本体(2)中密布有微孔，所述载台本体(2)的抗弯强度至少为80Mpa。

2.根据权利要求1所述的搬运载台，其特征在于，所述载台本体(2)中微孔的孔径为10～15μm。

3.根据权利要求1所述的搬运载台，其特征在于，所述载台本体(2)中微孔的密度至少为约800万个/cm³。

4.根据权利要求1所述的搬运载台，其特征在于，所述负压腔(3)的形状与所搬运的柔性屏的形状相似，并且，所述负压腔(3)的尺寸大于所搬运柔性屏的尺寸。

5.根据权利要求1所述的搬运载台，其特征在于，所述载台本体(2)的厚度为15～20mm。

6.根据权利要求1所述的搬运载台，其特征在于，所述载台本体(2)表面平行度为8～12μm，表面平整度为8～12μm，表面阻抗为10⁶～10⁹Ω。

7.根据权利要求1所述的搬运载台，其特征在于，在一种可实现的方式中，在所述负压腔(3)中设置有用于支撑所述载台本体(2)的加强筋。

8.根据权利要求1所述的搬运载台，其特征在于，所述载台基座(1)中无微孔。

9.根据权利要求1所述的搬运载台，其特征在于，在所述载台基座(1)设置有至少一个与所述负压腔(3)连通的真空气管接头(4)。