[发明专利]一种单元标记及其设计方法有效
| 申请号： | 202010104156.X | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN111290224B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 范元骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F1/42;G03F1/44 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单元 标记 及其 设计 方法 | ||
1.单元标记的设计方法，其特征在于，该方法至少包括以下步骤：
步骤一、提供设计在版图上的标记实心结构，将所述标记实心结构内挖空形成标记外框；
步骤二、在所述标记外框内填充与该标记外框边界衔接的等间隔排列的若干条形结构，形成标记，所述若干条形结构彼此宽度相等；
步骤三、沿所述标记外框的边向其内部缩小0.6微米；
步骤四、在所述版图上复制多个缩小后的所述标记，并将多个缩小后的所述标记进行拼接，其中相邻的所述标记外框的拼接处的宽度为0.6微米。
2.根据权利要求1所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤一中形成的所述标记外框的形状呈L型。
3.根据权利要求2所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤一中所述标记外框的外侧横向边长和外侧纵向边长分别为20微米。
4.根据权利要求3所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤二中在所述L型的标记外框内填充的所述若干条形结构呈纵向排列且与所述标记外框边界衔接。
5.根据权利要求3所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤二中在所述L型的标记外框内填充的所述若干条形结构呈横向排列且与所述标记外框边界衔接。
6.根据权利要求4或5所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤二中在所述标记外框内填充的所述若干条形结构中，每个所述条形结构的宽度为38nm。
7.根据权利要求4或5所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤二中在所述标记外框内填充的所述若干条形结构中，每个所述条形结构的宽度为52nm。
8.根据权利要求4或5所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤二中在所述标记外框内填充的所述若干条形结构中，每个所述条形结构的宽度为100nm。
9.根据权利要求4或5所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤四中在所述版图上复制四个缩小后的所述标记。
10.根据权利要求9所述的单元标记的设计方法，其特征在于：步骤四中将四个缩小后的所述标记分别置于左上、左下、右上、右下的位置进行拼接。
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