[发明专利]甲酚类的精制方法、感光性树脂组合物用酚醛树脂的制造方法、及感光性树脂组合物

说明书

本发明的课题在于，提供甲酚类的精制方法、采用了利用该精制方法精制出的精制甲酚的感光性树脂组合物用酚醛树脂的制造方法、以及含有利用该制造方法制得的酚醛树脂的感光性树脂组合物，在所述甲酚类的精制方法中，对利用焦油蒸馏得到的分馏甲酚进行精制，能够制造适合用于感光性树脂组合物的酚醛树脂。本发明的甲酚类的精制方法包括将利用焦油蒸馏得到的分馏甲酚中的碱性物质除去的除去工序。在该除去工序中，在将分馏甲酚用酸性物质的水溶液进行清洗或将酸性物质添加于分馏甲酚后，进行再蒸馏。

本申请是申请日为2013年7月19日、申请号为201310305803.3、发明名称为“甲酚类的精制方法、感光性树脂组合物用酚醛树脂的制造方法、及感光性树脂组合物”的申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及用于制造感光性树脂组合物用酚醛树脂的甲酚类的精制方法、采用了利用该精制方法精制出的精制甲酚的感光性树脂组合物用酚醛树脂的制造方法、以及含有利用该制造方法制得的酚醛树脂的感光性树脂组合物。

背景技术

以往，包含酚醛树脂和含醌二叠氮基化合物的正型感光性树脂组合物，在半导体的集成电路(IC)的制造等领域中作为灵敏度、清晰度、耐热性优异的材料被广泛供于实际应用中。

其中，作为酚醛树脂，通常使用利用甲酚类与醛类和/或酮类的缩聚反应而合成的酚醛树脂。此外，作为甲酚类，通常使用化学合成的甲酚类。例如，在甲酚的三种异构体中，邻甲酚可以利用以苯酚及甲醇为原料的苯酚甲基化法来制造。此外，间甲酚及对甲酚可以利用对由甲苯和丙烯得到的甲基异丙基苯(cymene)进行氧化的甲苯异丙基化法(甲基异丙基苯法)来制造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-53080号公报

发明内容

然而，甲酚类以焦油酸的形式包含于煤焦油中，也可以利用煤焦油的蒸馏和精制来获得。但是，煤焦油中还包含作为焦油碱的吡啶、甲基吡啶、苯胺等碱性物质，并且还已知这些物质残留于分馏甲酚中。因此，提出了许多除去此类碱性物质的方法。例如，在专利文献1中提出了以下方法：在焦油酸中添加氢氧化碱的水溶液，制成焦油酸盐的水溶液，使该水溶液与活性炭接触，由此吸附除去焦油碱等杂质。

但是，根据本发明人等的研究判明：在将使用甲酚类制得的酚醛树脂用于感光性树脂组合物时，需要大体上完全除去分馏甲酚中的碱性物质，而利用如专利文献1那样的现有方法并不能充分除去该碱性物质。

本发明鉴于上述现有的实际情况而完成，其目的在于，提供甲酚类的精制方法、采用了利用该精制方法精制出的精制甲酚的感光性树脂组合物用酚醛树脂的制造方法、以及含有利用该制造方法制得的酚醛树脂的感光性树脂组合物，在上述甲酚类的精制方法中，对利用焦油蒸馏(tardistillation)得到的分馏甲酚进行精制，得到能够制造适合用于感光性树脂组合物的酚醛树脂的甲酚。

本发明人等为了达成上述目的反复地进行深入研究。其结果发现，用特定的方法除去利用焦油蒸馏得到的分馏甲酚中的碱性物质，由此能够制造适合用于感光性树脂组合物的酚醛树脂，从而完成了本发明。具体而言，本发明提供以下的方案。

本发明的第一方案为一种精制方法，其特征在于，其是用于制造感光性树脂组合物用酚醛树脂的甲酚类的精制方法，所述精制方法包括将利用焦油蒸馏得到的分馏甲酚中的碱性物质除去的除去工序，在该除去工序中，在将上述分馏甲酚用酸性水溶液进行清洗或者将酸性物质添加于上述分馏甲酚后，进行再蒸馏。

本发明的第二方案为一种制造方法，其特征在于，其是感光性树脂组合物用酚醛树脂的制造方法，该制造方法包括在催化剂的存在下使甲酚类与醛类和/或酮类发生反应的反应工序，上述甲酚类含有利用本发明的第一方案的精制方法精制出的精制甲酚。