[发明专利]接合设备

权利要求书

1.一种接合设备，其包括：

第一台，所述第一台上布置有第一衬底；

第二台，所述第二台上布置有与所述第一衬底面对的第二衬底；以及

辊构件，所述辊构件包括辊部和进气部，其中，所述辊部包括在一个方向上延伸的内孔和连接所述内孔与外部空间的多个开口并且配置成接合所述第一衬底与所述第二衬底，并且所述进气部连接到所述辊部并且配置成吸入所述内孔的空气。

2.如权利要求1所述的接合设备，其中，

所述辊部包括：

支承部，所述支承部中限定有所述内孔；以及

按压部，所述按压部布置在所述支承部上，并且

其中，所述开口中的每个为穿透所述支承部和所述按压部的孔。

3.如权利要求2所述的接合设备，其中，

所述支承部包括：

第一侧表面和第二侧表面，所述第一侧表面和所述第二侧表面将所述内孔暴露于外部；以及

外表面，所述外表面中限定有所述开口并且连接所述第一侧表面与所述第二侧表面，并且

其中，所述进气部与从所述第一侧表面暴露的所述内孔完全重叠并且连接到所述第一侧表面。

4.如权利要求3所述的接合设备，其中，

所述辊构件还包括：

对齐部，所述对齐部连接到所述第二侧表面并且配置成使所述支承部旋转。

5.如权利要求4所述的接合设备，其中，

所述对齐部包括：

盖部，所述盖部与所述内孔完全重叠并且连接到所述第二侧表面；以及

杆部，所述杆部连接到所述盖部。

6.如权利要求3所述的接合设备，其中，

所述按压部布置在所述外表面的整个部分上。

7.如权利要求2所述的接合设备，其中，

所述支承部由金属形成，并且所述按压部由聚氨酯形成。

8.如权利要求2所述的接合设备，其中，

当在所述辊部的剖面图中观察时，所述支承部的厚度大于所述按压部的厚度。

9.如权利要求2所述的接合设备，其中，

所述开口包括在所述辊构件的长度方向上彼此不重叠的第一开口和第二开口，并且

其中，当在所述辊部的剖面图中观察时，所述支承部具有第一部分和第二部分彼此由所述第一开口和所述第二开口间隔开的形状。

10.如权利要求1所述的接合设备，其中，

所述开口包括第一开口和第二开口，并且

其中，所述第一开口在所述辊构件的长度方向上不与所述第二开口重叠。

11.如权利要求10所述的接合设备，其中，

所述第一开口分别在所述辊构件的厚度方向上与所述第二开口重叠。

12.如权利要求1所述的接合设备，其中，

所述开口彼此间隔开并且在所述一个方向上排列。