[发明专利]一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法

权利要求书

1.一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）对光刻胶剥离液废液进行离心分离处理，以去除所述光刻胶剥离液废液中的高分子固体物质；

（2）向经过步骤（1）处理的所述光刻胶剥离液废液中加入活性炭，以进行脱色处理，脱色处理后，再经过滤得到无色回收液；

（3）向步骤（2）得到的无色回收液中加入改性硅藻土，经过搅拌吸附处理后，再经压滤后，去除改性硅藻土吸附剂，得到回收后的光刻胶剥离液可用物；其中，所述改性硅藻土是采用氢氧化钠溶液和聚醚酰亚胺溶液依次对硅藻土进行改性处理得到；在所述改性硅藻土的制备过程中，所述氢氧化钠溶液与所述硅藻土的质量比以及所述聚醚酰亚胺溶液与所述硅藻土的质量比均为4:1，改性时间均为40min，改性温度均为80℃，所述改性硅藻土的用量为所述光刻胶剥离液废液质量的5~10%；

（4）测定得到的所述光刻胶剥离液可用物中的有用成分含量，根据测定的有用成分含量，向回收的所述光刻胶剥离液可用物中补足所需的光刻胶剥离液有效成分及用量，形成再生光刻胶剥离液；

所述的光刻胶剥离液废液包括单乙醇胺、水和光刻胶，还包括二乙二醇单丁醚或N-甲基吡咯烷酮。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，其特征在于：步骤（1）中的离心分离处理的方式为转鼓沉降离心方式。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，其特征在于：步骤（2）中，加入所述活性炭之前，先将所述光刻胶剥离液废液加热至80~90℃。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，其特征在于：步骤（2）中，所述活性炭的用量为所述光刻胶剥离液废液质量的1~10%。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，其特征在于：所述光刻胶剥离液废液还包括二甲基亚砜。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，其特征在于：所述光刻胶剥离液废液含有20％重量的单乙醇胺、75％重量的二乙二醇单丁醚、2％重量的水以及3％重量的光刻胶。

7.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，其特征在于：所述光刻胶剥离液废液含有10％重量的单乙醇胺、60％重量的二乙二醇单丁醚、2.5％重量的水、24％重量的二甲基亚砜以及3.5％重量的光刻胶。

8.根据权利要求1所述的一种光刻胶剥离液废液再生利用的方法，其特征在于：所述光刻胶剥离液废液含有16％重量的单乙醇胺、29％重量的N-甲基吡咯烷酮、1％重量的水、50％重量的二甲基亚砜以及4％重量的光刻胶。