[发明专利]一种研磨液供给系统

权利要求书

1.一种研磨液供给系统，其特征在于，包括：研磨液配置装置、清洗液供给装置和过滤装置，还包括连通所述研磨液配置装置和过滤装置的供给管路、连通所述清洗液供给装置和所述过滤装置的清洗管路，所述过滤装置至少包括第一过滤装置和第二过滤装置，所述供给管路包括连通所述研磨液配置装置和所述第一过滤装置的第一管路、连通所述研磨液配置装置和所述第二过滤装置的第二管路；所述清洗管路包括连通所述清洗液供给装置和所述第一过滤装置的第三管路、连通所述清洗液供给装置和所述第二过滤装置的第四管路；

所述研磨液配置装置用于配置研磨液，并将配置好的研磨液通过所述供给管路输送至所述过滤装置；所述过滤装置用于过滤研磨液，并将过滤后的研磨液输送至与所述过滤装置连通的研磨装置；所述清洗液供给装置用于通过所述清洗管路向所述过滤装置输送清洗液；

所述供给管路和所述清洗管路设置于所述过滤装置的底部，所述过滤装置的顶部还设置有排液管路，所述排液管路用于将从所述过滤装置输出的过滤后的研磨液输送至所述研磨装置；

还包括：第一阀箱和研磨液循环管路，所述研磨液循环管路经过所述第一阀箱连通所述研磨液配置装置和所述过滤装置，所述第一阀箱用于控制研磨液从过滤装置通过所述研磨液循环管路传输至所述研磨液配置装置，或控制研磨液从研磨液配置装置通过所述供给管路传输至所述过滤装置。

2.根据权利要求1所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括组合阀，所述组合阀包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀设置在所述供给管路上，所述第二控制阀设置在所述清洗管路上。

3.根据权利要求2所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括控制系统，所述控制系统与所述第一控制阀、所述第二控制阀和所述研磨装置通信连接；

所述研磨装置还用于在需要研磨液时向所述控制系统发送第一指令，所述控制系统用于在接收到所述第一指令后控制所述第一控制阀打开，所述第二控制阀关闭。

4.根据权利要求3所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括杂质检测装置，所述杂质检测装置设置在所述过滤装置内、且与所述控制系统通信连接，用于在所述过滤装置内的杂质超出预设阈值时，向所述控制系统发送第二指令，所述控制系统还用于在接收到所述第二指令后控制所述第一控制阀关闭，所述第二控制阀打开。

5.根据权利要求2所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括安装箱，所述安装箱内包含固定支架，所述固定支架用于将所述组合阀和所述过滤装置固定于所述安装箱内。

6.根据权利要求5所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述固定支架包括第一支架和第二支架，所述第一支架与所述组合阀固定连接，所述组合阀与所述过滤装置固定连接，且所述过滤装置与所述第二支架固定连接。

7.根据权利要求5所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述安装箱可活动连接于固定卡槽。

8.根据权利要求1所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括离心泵，所述离心泵设置在所述过滤装置与所述研磨液配置装置之间，用于将所述研磨液配置装置内的研磨液泵入所述过滤装置中。

9.根据权利要求1所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述第一阀箱和所述研磨液配置装置之间还设置有初滤装置，所述初滤装置用于过滤大于第一粒径的颗粒，所述过滤装置用于过滤大于第二粒径的颗粒，且所述第一粒径大于所述第二粒径。

10.根据权利要求1所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述研磨液配置装置包括研磨液原液供给单元、与所述研磨液原液供给单元连通的研磨液混合槽单元和与所述研磨液混合槽单元连通的研磨液供给槽单元，所述研磨液供给槽单元通过所述供给管路与所述过滤装置连通。