[发明专利]一种硅胶粉降低再生剥离液中铁含量的系统及其应用

说明书

本发明涉及一种再生剥离液，具体涉及一种硅胶粉降低再生剥离液中铁含量的系统和方法，系统包括依次通过软管连接的成品桶、屏蔽泵、袋式过滤器，所述成品桶的出料口与屏蔽泵的进料口连通，所述屏蔽泵的出料口与袋式过滤器的进料口连通，所述袋式过滤器的出料口与成品桶的进料口连通。将剥离液打入袋式过滤器中进行过滤吸附。利用本发明的系统，可以实现硅胶粉对回收剥离液的多次吸附，并能实现对硅胶粉的纯水清洗。并经过本发明的方法不影响剥离液的其它物质的含量，从而提高可回收剥离液的品质。

技术领域

本发明涉及一种再生剥离液，具体涉及一种硅胶粉降低再生剥离液中铁含量的方法及其应用。

背景技术

剥离液广泛用于半导体IC和TFT-LCD、OLED等面板显示行业中，主要用于光刻工艺后端光刻胶的剥离。随着显示行业的高速发展，剥离液等湿电子化学品的用量也急剧增加，应对于大尺寸、高分辨率显示平板需求的增长，高世代线不断投产，剥离液的用量呈现倍增趋势。而大量的剥离液应用也会产生大量的剥离液废液，这些废液直接排放不仅会严重污染环境，而且会导致剥离液成本居高不下。

经实验测定使用过的剥离液中FE含量50ppb，导致再生剥离液的品质下降，不利于销售。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本发明提供一种硅胶粉降低剥离液中铁含量的系统；

相应的，本发明提供一种硅胶粉降低剥离液中铁含量的方法。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

一种硅胶粉降低再生剥离液中铁含量的循环系统，其特征在于，其包括依次通过软管连接的成品桶、屏蔽泵、袋式过滤器，所述成品桶的出料口与屏蔽泵的进料口连通，所述屏蔽泵的出料口与袋式过滤器的进料口连通，所述袋式过滤器的出料口与成品桶的进料口连通。

进一步的，其还包括纯水存放桶和废气水渠，所述袋式过滤器的进料口还与纯水存放桶的出水口连通，所述袋式过滤器的出料口还与废气水渠连通。

进一步的，所述屏蔽泵的流量为1m³/h，压力为0.3Mpa。

进一步的，所述袋式过滤器的过滤精度为15～50μm。

进一步的，所述袋式过滤器的材质为聚四氟乙烯，袋式过滤器的固定口环为塑料圈，袋式过滤器中过滤网为不锈钢网。

进一步的，所述袋式过滤器中的过滤网内壁上紧贴有硅胶粉。

进一步的，所述袋式过滤器中的过滤网外壁上从内到外依次套设有可拆卸的活性炭网和防漏套。过滤网和活性炭网之间还铺设有活性碳粉。

进一步的，所述袋式过滤器的内腔壁上还设有烘干器。

一种利用硅胶粉降低再生剥离液中铁含量的循环系统处理回收剥离液的方法，其包括以下步骤：

S1将回收的剥离液成品桶放置于成品桶中；

S2在袋式过滤器的过滤网上的硅胶粉上，铺设活性炭粉，在过滤网的外壁上铺设活性炭粉，套上活性炭网后，再套上防漏套；

S3打开屏蔽泵开关将回收的剥离液打入袋式过滤器中，拆掉防漏套，回收的剥离液返回至成品桶中；

S4继续打开屏蔽泵开关，重复步骤S3的步骤。如此，重复步骤S3至少2次以上成品桶中得到再生剥离液。

其还包括步骤S5，打开纯水存放桶的阀门将纯水进入袋式过滤器中清洗硅胶粉和活性炭粉；步骤S5可以在步骤S3之前进行，清洗后，打开袋式过滤器中的烘干器开关，进行烘干至硅胶粉的自由水含量为零。

(三)有益效果