[发明专利]液体喷射头、以及液体喷射装置

说明书

本发明提供一种能够减少使头单元内部的增稠的液体或气泡强制性地从喷嘴排出的维护动作的次数，并减少在该维护动作中消耗的液体的量的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头(2)在与第一方向正交的第二方向上并排设置有多个从喷嘴(8)向在第一方向上相对移动的介质喷射液体的头单元(10)，头单元具备：喷嘴列(7)，其沿着与第一方向和第二方向交叉的第三方向而并排设置有多个喷嘴；压力室，其与喷嘴连通；压力产生元件(27)，其与使压力室内部的液体产生压力变化；供给液室(40)，其与多个压力室连通，并被导入有向各压力室供给的液体；流入口(38)，其使液体向头单元内部流入；流出口(44)，其使液体向头单元外部流出。

技术领域

本发明涉及一种喷墨式记录头等的液体喷射头、具备该液体喷射头的液体喷射装置，尤其是，涉及一种使液体在液体贮留部件之间进行循环的液体喷射头、以及液体喷射装置。

背景技术

液体喷射装置为，具备液体喷射头、并将各种液体作为液滴而从该液体喷射头喷射(喷出)的装置。虽然作为该液体喷射装置，例如存在有喷墨式打印机或喷墨式标绘器等的图像记录装置，但是最近也被应用于各种制造装置中从而发挥能够使极少量的液体准确地喷落在预定位置上这一特长。例如，被应用于制造液晶显示器等的彩色滤波器的显示器制造装置、形成有机EL(Electro Luminescence：电致发光)显示器或FED(面发光显示器)等的电极的电极形成装置、制造生物芯片(生物化学元件)的芯片制造装置中。而且，在图像记录装置用的记录头中，喷射包含颜色材料的液体，并在显示器制造装置用的颜色材料喷射头中，喷射包含R(Red：红色)、G(Green：绿色)、B(Blue：蓝色)等的各种颜色材料的液体。此外，在电极形成装置用的电极材喷射头中，喷射包含电极材料的液体，在芯片制造装置用的生物体有机物喷射头中，喷射包含生物体有机物的液体。

作为上述的液体喷射头，存在有如下的液体喷出头，所述液体喷出头具备并排设置有多个喷嘴的喷嘴基板、形成有多个独立地与各个喷嘴连通的压力室(或者也被称为压力产生室或空腔)的基板、形成有在导入来自液体贮留部件的液体的各个压力室中共用的供给液室(或者也被称为贮液器或歧管)的基板、使压力室内的液体产生压力振动、换言之使之产生压力变化的压电元件等的压力产生元件(或者也被称为驱动元件或致动器)。此外，在具备这样的液体喷射头的液体喷射装置中，存在有一种如下的液体喷射装置，该液体喷射装置为，在与输送方向正交的方向上并排配置有多个头主体(或者头单元)的结构，所述头主体具有喷嘴在相对于介质被输送的方向而倾斜的方向上并排配置而形成的喷嘴列(例如，参照专利文献1)。在该结构中，从对液体进行贮留的液体罐或液体盒等的液体贮留部件至液体喷射头的喷嘴为止的液体的流动的路径是单向流动的，从而被临时供给至液体喷射头的液体会停留在该液体喷射头的内部的流道中，直至从喷嘴中被排出为止。

在上述结构中，在液体喷射头的内部的流道内混入了气泡的情况下，该气泡将难以通过狭小的流道，而且，由于浮力的作用，从而在由驱动压力产生元件所实现的通常的液体喷射动作中，该气泡难以从喷嘴被排出。因此，为了将该气泡排出，从而需要实施如下的所谓清洗动作，即，在通过帽盖来密封被形成有喷嘴的面(以下，也称为喷嘴面)的状态下，在帽盖内的空间与液体喷射头的流道内部之间，通过泵等而使之产生压力差，从而使气泡与液体一起从喷嘴向帽盖内排出的动作。然后，与之相应地，存在有在该清洗动作中消耗了液体这一问题。

专利文献1：日本特开2015-136866号公报

发明内容

本发明的液体喷射头是为了实现上述目的而提出的，其为在与第一方向正交的第二方向上并排设置有多个从喷嘴向在所述第一方向上实施相对移动的介质喷射液体的头单元的液体喷射头，其中，

所述头单元具备：

第一喷嘴列，其沿着与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向而并排设置有多个所述喷嘴；

压力室，其与所述喷嘴连通；

压力产生元件，其使所述压力室内的液体产生压力变化；