[发明专利]夹紧装置

说明书

本公开涉及一种夹紧装置，包括：头部，具有结合于对象体的平坦的结合面；延伸部，从所述结合面的一区域垂直延伸；以及，第一引导部，以能够旋转的方式结合于所述延伸部的外周面，随着所述第一引导部相对于所述延伸部向第一方向和与所述第一方向对向的第二方向移动，所述延伸部沿着圆周方向旋转，随着所述延伸部旋转，所述头部的所述结合面的第一区域和第二区域交替结合于所述对象体。

技术领域

本公开涉及夹紧装置。

背景技术

夹紧装置可在成膜工艺等中为了固定并支承基板而利用。例如，在基板的两侧边缘插入夹紧装置的状态下，可在基板上转印对象物质。

此时，不仅是基板，在固定基板的两侧边缘的夹紧装置的头部上也转印对象物质，从而可能会形成连接基板和头部之间的膜。那样的话，担忧在对象物质硬化之后将基板从夹紧装置分离时基板损伤。

此外，如果在夹紧装置上重复转印对象物质而形成厚膜，则夹紧装置会损伤，因此需要在工艺设备内定期更换夹紧装置。

发明内容

本公开用于提供一种利用可旋转的T字形头部而能够减少因成膜更换和/或维修周期的夹紧装置。

根据本公开的一实施例的夹紧装置，可以是，包括：头部，具有结合于对象体的平坦的结合面；延伸部，从所述结合面的一区域向着第一方向延伸；以及，第一引导部，以相对于所述延伸部向着圆周方向能够旋转的方式结合于所述延伸部，随着所述第一引导部相对于所述延伸部向所述第一方向和与所述第一方向对向的第二方向移动，所述延伸部向着所述圆周方向旋转，随着所述延伸部旋转，所述头部的所述结合面的第一区域和第二区域交替结合于所述对象体。

此外，可以是，所述夹紧装置还包括旋转部，所述旋转部与所述延伸部固定结合，并在所述旋转部的外周面形成至少两个旋转凸起部。

此外，可以是，所述第一引导部包括：上端单元，在所述旋转凸起部的一侧以能够旋转的方式结合于所述旋转部的外周面；以及，下端单元，在所述旋转凸起部的另一侧，以能够旋转的方式结合于所述旋转部的外周面。

此外，可以是，所述上端单元包括在与所述下端单元面对的一端形成至少两个卡挂台的螺纹线，所述下端单元包括在与所述上端单元面对的一端形成至少两个卡挂台的螺纹线。

此外，可以是，当所述第一引导部向所述第一方向移动时，所述旋转凸起部从所述下端单元的所述卡挂台经过所述上端单元的所述螺纹线移动至所述上端单元的所述卡挂台，当所述第一引导部向所述第二方向移动时，所述旋转凸起部从所述上端单元的所述卡挂台经过所述下端单元的所述螺纹线移动至所述下端单元的所述卡挂台。

此外，可以是，所述夹紧装置还包括：基座部，相对于地面平坦地配置；第二引导部，固定结合于所述基座部，并形成至少一个升降孔；升降部件，与所述第一引导部固定结合，并具有插入到所述至少一个升降孔的至少一个升降凸起部；以及，加压部，配置在所述基座部的所述第二方向，并以相对于所述基座部能够旋转的方式连接于所述基座部。

此外，可以是，所述基座部包括贯通所述基座部的基座孔，所述旋转部穿过所述基座孔而以向着所述圆周方向能够旋转的方式结合于所述加压部。

此外，可以是，所述升降孔是在相对于所述地面具有不同高度的第一端部和第二端部之间延伸的椭圆形状，所述升降凸起部在所述第一端部和所述第二端部之间被引导。

此外，可以是，所述第一端部和所述第二端部之间的高度差比所述基座部和所述加压部之间的距离短。

此外，可以是，若向所述加压部施加所述第二方向上的外力，则结合于所述加压部的所述旋转部向所述第二方向移动。

此外，可以是，所述加压部包括止挡件，随着所述加压部因所述外力向所述第二方向旋转，所述止挡件结合于所述基座部而限制所述加压部的旋转角度。