[发明专利]一种三轴微振实时在线测量系统及方法

权利要求书

1.一种三轴微振实时在线测量系统，包括：测量部分(10)、采集处理部分(20)和显示操作部分(30)。测量部分(10)由三个加速度传感器和一个测量底座(14)组成；三个加速度传感器中的两个分别位于测量底座(14)突出部分的两侧，第三个位于测量底座(14)上表面；采集处理部分(20)包括三通道采集模块(21)、并行控制传输模块(22)、后面板(23)、微型计算机模块(24)；三通道采集模块(21)内部包含三个相互独立的通道，每个通道包括依次连接的模拟放大模块、继电器及隔离保护模块和模数转换模块，每个通道与一个加速度传感器相连；并行控制传输模块(22)包括三个控制模块、存储模块、处理器模块及同步传输模块，能够同时控制三通道采集模块中的三个独立通道进行数据采集转换，完成数据的初步锁存及同步传输；微型计算机模块(24)采用多线程并行技术，在接收并行控制传输模块(22)传输数据的同时，完成三通道数据的并行计算处理及存储；显示操作部分(30)包含系统控制面板(31)、系统状态面板(32)、振动数据显示(33)、参数设置面板(34)、振动时域显示面板(35)和振动频域显示面板(36)，在提供人机交互界面操作的同时，实时显示振动采集结果和微型计算机模块(24)的计算结果。

2.根据权利要求1所述的在线测量系统，其特征在于，所述测量底座(14)由无拼接一体化的不锈钢制成，并且外部包有防静电喷涂的不锈钢外壳，所述三个加速度传感器均通过不锈钢螺钉与测量底座(14)刚性连接。

3.根据权利要求1所述的在线测量系统，其特征在于，所述采集处理部分(20)的框架采用铝合金材质，并且外部包有防静电喷涂的不锈钢外壳。

4.根据权利要求1所述的在线测量系统，其特征在于，后面板(23)包括三通道采集模块(21)的三个外部接口，每个加速度传感器各通过一个外部接口连接到三通道采集模块(21)的一个通道。

5.根据权利要求1所述的在线测量系统，其特征在于，所述测量部分(10)通过屏蔽电缆与三通道采集模块(21)相连，三通道采集模块(21)与并行控制传输模块(22)相连，并行控制传输模块(22)与微型计算机模块(24)相连，微型计算机模块(24)与显示操作部分(30)相连。

6.一种使用权利要求1所述的在线测量系统实现的测量方法，其特征在于，三个加速度传感器分别用来测量南北轴方向、东西轴方向和垂直轴方向的振动，测量底座置于需要进行微振动测试的设备平台表面，三个加速度传感器产生的三路电压信号分别对应于测量底座的三个方向微振动响应，三路电压信号通过三通道采集模块转化为三路数字化的加速度信号，再通过以太网通信将数字信号实时同步传输到微型计算机模块，微型计算机模块用于分析被测平台的微振动特性，实现长时间在线测量。

7.根据权利要求6所述的测量方法，其特征在于，微型计算机模块通过对加速度时域频域的分析得到所述设备运行时外部环境的微振动等级，根据半导体产品制造时间及产品合格率的关系结合测量到的环境振动情况进行对比跟踪分析，从而判断环境振动对产品生产合格率的影响。