[发明专利]一种特气管路

权利要求书

1.一种特气管路，其特征在于，包括：供气管、若干组防堵塞喇叭特气孔，所述防堵塞喇叭特气孔均匀设置于所述供气管壁上，所述防堵塞喇叭特气孔包括：外罩和设置于所述外罩内的喇叭状特气孔，所述喇叭状特气孔的下方进气口与所述供气管壁连通连接，所述喇叭状特气孔的上方出气口的侧壁与所述外罩的开口侧壁相切连接。

2.根据权利要求1所述的特气管路，其特征在于，所述喇叭特气孔的下方进气口的直径小于所述喇叭特气孔的上方出气口的直径。

3.根据权利要求2所述的特气管路，其特征在于，包括：主气管、供气管和至少两根以上支气管，所述主气管相连通的两根对称分布的支气管，所述支气管连通所述供气管，所述防堵塞喇叭特气孔设置于所述供气管侧壁上并与所述供气管连通，一种特气通过所述防堵塞喇叭特气孔均匀进入工艺腔体。

4.根据权利要求3所述的特气管路，其特征在于，所述外罩呈圆柱状、圆台状、倒圆台状或六边形状中的任一种。

5.根据权利要求4所述的特气管路，其特征在于，所述喇叭状特气孔的下方进气口的直径为0.1mm-2mm。

6.根据权利要求5所述的特气管路，其特征在于，所述喇叭状特气孔的上方出气口的直径为1.5mm-5mm。

7.根据权利要求6所述的特气管路，其特征在于，所述防堵塞喇叭特气孔高度为1mm-5mm。

8.根据权利要求7所述的特气管路，其特征在于，所述防堵塞喇叭状特气孔与所述供气管侧壁可拆卸式连接。

9.根据权利要求8所述的特气管路，其特征在于，所述防堵塞喇叭状特气孔与所述供气管侧壁连接处设有密封圈。

10.根据权利要求9所述的特气管路，其特征在于，包括：沉积物厚度检测传感器、中央处理器和主管道控制器，所述沉积物厚度检测传感器与所述中央处理器电连接，所述中央处理器与所述主管道控制器电连接，控制主管道的特气输入或特气截止。