[发明专利]光波导路由构造及其方法

权利要求书

1.一种光波导，包括：

硅部分，所述硅部分包括减小所述硅部分的宽度的锥部；

位于所述硅部分上方的氮化硅部分；和

弯曲部，所述弯曲部位于所述锥部附近，其中所述锥部将行进通过所述光波导的光信号从多模改变为单模，以允许将所述光信号路由通过所述弯曲部。

2.根据权利要求1所述的光波导，其中所述氮化硅部分将行进通过所述光波导的所述光信号限制在所述硅部分中。

3.根据权利要求1所述的光波导，其中所述氮化硅部分沿着所述锥部的长度延伸并且包括沿着所述锥部的长度保持相同的宽度。

4.根据权利要求1所述的光波导，其中所述硅部分包括在所述锥部的第一侧上的第一宽度和在所述锥部的第二侧上的第二宽度，所述第二侧与所述第一侧相对，并且所述第二宽度小于所述氮化硅部分的宽度。

5.根据权利要求1所述的光波导，其中所述锥部将所述光波导在加载单模或多模波导至单模波导之间进行过渡。

6.根据权利要求1所述的光波导，其中所述光波导在加载单模或多模波导至单模波导之间过渡。

7.根据权利要求1所述的光波导，其中所述硅部分和所述氮化硅部分彼此间隔开来，使得所述硅部分中的光学模式被所述氮化硅部分横向地限制。

8.根据权利要求1所述的光波导，其中所述硅部分和所述氮化硅部分彼此间隔开来。

9.根据权利要求1所述的光波导，其中所述硅部分和所述氮化硅部分延伸与所述光波导相同的长度。

10.根据权利要求1所述的光波导，其中所述锥部的长度足够长以避免行进通过所述锥部的所述光信号的损失。

11.根据权利要求1所述的光波导，其中所述硅部分和所述氮化硅部分延伸通过所述弯曲部。

12.根据权利要求1所述的光波导，进一步包括掩埋氧化物部分，其中所述氮化硅部分和所述硅部分位于所述掩埋氧化物部分中。

13.一种光波导，其包括：

硅部分，所述硅部分包括减小所述硅部分的宽度的锥部；

位于所述硅部分上方的氮化硅部分；和

弯曲部分，其中所述硅部分和所述氮化硅部分延伸穿过所述弯曲部分，并且所述锥部在所述弯曲部之前减小所述硅部分的宽度。

14.一种光波导，其包括：

加载单模或多模波导至单模波导之间的过渡部，所述过渡部包括：

硅部分；

位于所述硅部分上方的氮化硅部分；和

锥部，所述锥部减小所述硅部分的宽度；和

弯曲部，所述弯曲部位于所述锥部附近，其中所述锥部将行进通过所述光波导的光信号从多模改变为单模，以允许将光信号路由通过所述弯曲部。

15.根据权利要求14所述的光波导，其中所述弯曲部改变所述光波导的方向。

16.根据权利要求14所述的光波导，还包括在单模波导与加载单模或多模波导之间的第二过渡部。

17.根据权利要求16所述的光波导，所述第二过渡部包括：

第二硅部分；

位于所述第二硅部分上方的第二氮化硅部分；和

第二锥部，所述第二锥部增加所述第二硅部分的宽度。

18.根据权利要求14所述的光波导，其中所述氮化硅部分将行进通过所述光波导的光信号限制在所述硅部分中。

19.根据权利要求14所述的光波导，其中所述氮化硅部分沿着所述锥部的长度延伸并且包括沿着所述锥的长度保持相同的宽度，并且所述锥部的所述长度足够长以避免行进通过所述锥部的所述光信号的损失。