[发明专利]基板搬运装置及基板搬运装置的控制方法

权利要求书

1.一种基板搬运装置，用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出所述玻璃基板或者将所述玻璃基板搬入所述盒中，其特征在于，

将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，

具备：第一放置部，所述第一放置部放置所述盒的第一方向上的一端部；第二放置部，所述第二放置部放置所述盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，所述第一升降机构使所述第一放置部升降；第二升降机构，所述第二升降机构使所述第二放置部升降；第一传感器，所述第一传感器用于检测所述第一放置部处于上下方向上的规定位置；第二传感器，所述第二传感器用于检测所述第二放置部在上下方向上处于与由所述第一传感器检测到所述第一放置部时的所述第一放置部的上下方向上的位置相同的位置；以及所述基板搬运装置的控制部，

在所述盒被放置在所述第一放置部及所述第二放置部上之前，所述控制部执行第一动作和第二动作，所述第一动作是：通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使由所述第一传感器检测到的所述第一放置部及由所述第二传感器检测到的所述第二放置部沿同一方向一起下降/上升相同的量，直到由所述第一传感器检测不到所述第一放置部并且由所述第二传感器检测不到所述第二放置部，所述第二动作是：在所述第一动作中使所述第一放置部及所述第二放置部下降的情况下，之后，通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使所述第一放置部及所述第二放置部上升，确认由所述第一传感器检测到所述第一放置部的定时和由所述第二传感器检测到所述第二放置部的定时的偏差，在所述第一动作中使所述第一放置部及所述第二放置部上升的情况下，之后，通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使所述第一放置部及所述第二放置部下降，确认由所述第一传感器检测到所述第一放置部的定时和由所述第二传感器检测到所述第二放置部的定时的偏差。

2.一种基板搬运装置的控制方法，所述基板搬运装置用于从能够以沿上下方向隔开间隔的状态收容多块玻璃基板的盒搬出所述玻璃基板或者将所述玻璃基板搬入所述盒中，将与上下方向正交的规定方向设为第一方向时，具备：第一放置部，所述第一放置部放置所述盒的第一方向上的一端部；第二放置部，所述第二放置部放置所述盒的第一方向上的另一端部；第一升降机构，所述第一升降机构使所述第一放置部升降；第二升降机构，所述第二升降机构使所述第二放置部升降；第一传感器，所述第一传感器用于检测所述第一放置部处于上下方向上的规定位置；以及第二传感器，所述第二传感器用于检测所述第二放置部在上下方向上处于与由所述第一传感器检测到所述第一放置部时的所述第一放置部的上下方向上的位置相同的位置，所述基板搬运装置的控制方法的特征在于，

在所述盒被放置在所述第一放置部及所述第二放置部上之前，执行第一动作和第二动作，所述第一动作是：通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使由所述第一传感器检测到的所述第一放置部及由所述第二传感器检测到的所述第二放置部沿同一方向一起下降/上升相同的量，直到由所述第一传感器检测不到所述第一放置部并且由所述第二传感器检测不到所述第二放置部，所述第二动作是：在所述第一动作中使所述第一放置部及所述第二放置部下降的情况下，之后，通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使所述第一放置部及所述第二放置部上升，确认由所述第一传感器检测到所述第一放置部的定时和由所述第二传感器检测到所述第二放置部的定时的偏差，在所述第一动作中使所述第一放置部及所述第二放置部上升的情况下，之后，通过所述第一升降机构及所述第二升降机构使所述第一放置部及所述第二放置部下降，确认由所述第一传感器检测到所述第一放置部的定时和由所述第二传感器检测到所述第二放置部的定时的偏差。