[发明专利]具有双倾功能的透射电镜原位样品杆有效
申请号: | 202010077755.7 | 申请日: | 2020-01-31 |
公开(公告)号: | CN111261480B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 聂安民;张奕志;王宏涛;田永君 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/26 |
代理公司: | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 杜放 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 功能 透射 原位 样品 | ||
1.具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,包括杆身,设于杆身内、与杆身同轴的转轴和设置于转轴头端的纳米驱动器;其特征在于:纳米驱动器头端安装倾转台,倾转台具有与纳米驱动器固定的基座,基座上设有弹簧片和动子,动子预紧于弹簧片与基座之间,动子与弹簧片、动子与基座分别为平面接触,动子与弹簧片之间设有第一压电驱动件,基座和动子之间设有第二压电驱动件;基座上设有圆弧导轨,动子设有与圆弧导轨匹配的滑动件,动子上设有样品安装部位。
2.如权利要求1所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:基座上设有两个安装座,弹簧片架设于两个安装座,基座、两个安装座和弹簧片围成驱动和容纳动子运动的容纳腔,动子穿过容纳腔;动子安装于容纳腔时,动子高出安装座。
3.如权利要求1所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:动子从头端向后依次为样品安装部,与容纳腔配合的受驱动部和与圆弧导轨匹配的滑动件。
4.如权利要求1所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:基座具有与纳米驱动器固定的连接部,和由安装座、容纳腔和圆弧导轨形成的动子安装部,连接部与安装部正交。
5.如权利要求4所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:基座的连接部为螺钉孔,基座通过螺钉与纳米驱动器连接;纳米驱动器上设置对应的螺钉孔。
6.如权利要求5所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:弹簧片通过螺钉与安装座固定,两个安装座等高,两个安装座清楚容纳腔的两个侧壁,弹簧片形成容纳腔的顶板,基座形成容纳腔的底板,底板与安装座的顶面平行。
7.如权利要求6所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:圆弧导轨是设置于容纳腔和连接部之间的圆弧形通孔。
8.如权利要求7所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:安装座和圆弧导轨之间有过线槽。
9.如权利要求4所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:基座一体成型,圆弧导轨、安装座和过线槽由减材方式形成,减材方式如铣、线切割等加工方式。
10.如权利要求4所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:动子呈条状,动子具有与第一压电驱动件接触的第一平面和与第二压电驱动件接触的第二平面,第一平面和第二平面相对;动子的前段设置样品安装孔和与样品安装孔正交的锁紧螺钉孔,锁紧螺钉孔为通孔;滑动件设置于动子的尾端。
11.如权利要求1所述的具有双倾功能的透射电镜原位样品杆,其特征在于:压电驱动件包括至少一片压电剪切片;压电驱动件包括耐磨层,耐磨层与动子接触;压电剪切片和耐磨层粘接固定。
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