[发明专利]光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜、制备方法、制备系统及光电倍增管

权利要求书

1.一种光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

真空环境下，在光电倍增管玻璃光窗的内表面镀制一层金属薄膜；

在含氮气氛环境下，进行辉光放电离子氮化，使所镀的金属薄膜被氮化成为金属氮化物薄膜，所述金属氮化物薄膜为宽带隙金属氮化物薄膜，禁带宽度大于4.2 eV。

2.根据权利要求1所述的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备方法，其特征在于，镀制金属薄膜过程和金属薄膜的氮化过程均采用蓝光反射率进行监控。

3.根据权利要求2所述的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备方法，其特征在于，镀制金属薄膜过程采用热蒸镀或者电子轰击蒸镀方式。

4.根据权利要求2所述的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备方法，其特征在于，镀制金属薄膜过程中，采用热蒸镀方式将待镀金属材料蒸镀到玻璃光窗的内侧表面，金属膜层厚度为反射率下降30~70%对应的厚度。

5.根据权利要求1所述的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备方法，其特征在于，金属薄膜的氮化过程中，采用辅助热源对真空环境升温并保持在300-450℃。

6.根据权利要求1所述的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备方法，其特征在于，金属薄膜的氮化过程中，采用氮气和氢气的混合气体，气体比例为75%和25%，气压在50Pa；或者采用氨气，气压在50Pa。

7.根据权利要求1所述的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备方法，其特征在于，金属薄膜的氮化过程中，通过对玻璃光窗上所镀的金属薄膜施加300-700 V的负高压，使得含氮气体被电离活化，与金属薄膜反应生成金属氮化物薄膜。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备方法，其特征在于，所述金属薄膜包含镁、铍、钙、锶中的至少一种形成的薄膜。

9.一种采用权利要求1-7中任意一项所述的方法制备得到的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜。

10.一种光电倍增管，其特征在于，包括玻璃壳体、光电阴极组件、电子倍增组件、阳极组件以及引线系统，其中：

所述玻璃壳体具有上部和下部，所述上部构成光窗，入射光透过该光窗入射到玻璃壳体的内腔，所述内腔为真空状态；

所述光电阴极组件包括位于玻璃壳体上部的内侧面的增透膜以及在增透膜上形成的锑碱光电阴极，其中的增透膜为宽带隙金属氮化物薄膜，禁带宽度大于4.2 eV；

电子倍增组件，接收光电阴极组件发射出的光电子并进行倍增放大；

阳极组件，对放大后的光电子探测输出为电信号，并通过引线系统输出。

11.根据权利要求10所述的光电倍增管，其特征在于，所述宽带隙金属氮化物薄膜中的金属选择为镁、铍、钙、锶中的至少一种。