[发明专利]用于输送流体的连接器

说明书

本发明的目的是能够抑制或防止插头与插座相互连接时产生的插头前端损伤，并且可提高插座内部的可维护性。用于输送流体的连接器包括设置在流体管的端部的公形金属制插头、以及可供插头插入且与插头连接时流体连通的母形插座100，插座100具有截面圆形状的容纳部11，在插头与插座100的连接状态下容纳插头的前端部，容纳部11具有金属制的阀体支架40b及合成树脂制的筒部12，该合成树脂制的筒部12设置在阀体支架40b的内侧，在插头与插座100的连接状态下配置在插头的前端部与阀体支架40b之间。

技术领域

本发明涉及一种用于输送流体的连接器。

背景技术

用于输送流体的连接器是将两个不同配管系统连接的装置，例如用于将半导体制造装置中使用的流体(例如化学溶液或气体等)从一处输送到另一处。用于输送流体的连接器包括：插座，例如固定安装在建筑物一侧，其中设置有临时贮存流体的缓冲罐；及插头，固定在从罐车引出的软管等流体管的前端。插座上连接有与缓冲罐相连的流体管。

通过插座与插头的相互连接，可以从罐车向缓冲罐输送流体，或者从缓冲罐向罐车输送流体。

用于输送流体的连接器中，在将公形插头插入插座侧的插入口并固定之后，母形插座主体通过内部机构部的动作而向插头一侧移动。然后，通过插头与插座主体的连接，插座侧的流体管与插头侧的流体管彼此连通。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2002－130574号公报

专利文献2：JP特开2008－8403号公报(JP专利第4944515号公报)

和罐车连接的流体管采用三重结构，例如由内管、中间管及外管构成，内管等具有足够的壁厚，外管为不锈钢管等。由此，虽然实现了防泄漏等安全措施，但是流体管的重量变大。因此，为了支撑较重的流体管以减轻连接部的负担，有时会在插座的入口侧设置金属制加强部，用来支撑金属制插头的插入状态(上述专利文献1)。

但是，在这种情况下，金属制的插头的外径与插座的金属制加强部的内径的尺寸需要严格设定，防止插头的外周面与金属制加强部的内周面之间产生缝隙。因此，上述专利文献2中，在将插头插入插座时，由于金属零件彼此之间特有的磨损状态，会产生金属制的插头不能顺畅地插入的问题，针对这种问题，公开了一种设置有树脂制内衬的金属制加强部。由此，插入插头时，可防止金属零件彼此的磨损。像这样，专利文献2公开的技术其实是将插座的入口侧零件替换成树脂制。

另一方面，不同于上述问题，当金属制的插头与金属制的插座相互连接时，存在插头的前端的外周面损伤的问题。若插头的前端损伤，则插头的外周面与插座的内周面之间的密封性能降低，从而引起流通的流体泄露的问题。具体来说，在将插头插入插座侧的插入口之后，因插头侧的流体管的自重等而对插头的后端侧施加负荷，处于与流体管连接的插头的后端向下侧下降，插头的前端朝上侧的状态。因此，当插头与插座相互连接时，插头的前端维持接触插座的内周面的状态滑动，从而引起插头的前端的外周面损伤。当插座主体通过内部机构部的动作而向插头侧移动时，不同于手动动作，连接动作是强制进行的，因此特别容易发生所述问题。

发明内容

本发明是鉴于这种情况研究而成的，其目的在于提供一种用于输送流体的连接器，可防止或抑制插头与插座相互连接时产生的插头的前端损伤，并且可提高插座内部的维护性。

为了解决上述问题，本发明的用于输送流体的连接器采用以下手段。

本发明的用于输送流体的连接器包括：公形金属制插头，设置在流体管的端部；母形插座，可供所述插头插入，与所述插头连接时连通流体；所述插座具有截面圆形状的容纳部，在所述插头与所述插座的连接状态下容纳所述插头的前端部，所述容纳部具有金属制的主体部及合成树脂制的筒部，所述合成树脂制的筒部设置在所述主体部的内侧，在所述插头与所述插座的连接状态下配置在所述插头的所述前端部与所述主体部之间。