[发明专利]一种超高纯SF6管道输气系统

权利要求书

1.一种超高纯SF6管道输气系统，其特征在于，包括自动安全监控系统、供气站房、中间站存储系统和充气系统，供气站房、中间站存储系统和充气系统依次串联连通，自动安全监控系统电连接供气站房、中间站存储系统和充气系统。

2.根据权利要求1所述的一种超高纯SF6管道输气系统，其特征在于，供气站房包括若干个供气瓶、气化加热系统和全自动气体切换系统，若干个供气瓶、气化加热系统和全自动气体切换系统依次串联连通；

若干个供气瓶包括A组气瓶和B组气瓶，A组气瓶和B组气瓶均包括钢瓶、液相导管（10）和液相出口瓶阀（11），液相出口瓶阀（11）安装在钢瓶的瓶口，液相导管（10）的出气端连通液相出口瓶阀（11），液相导管（10）的进气端伸入钢瓶内部。

3.根据权利要求2所述的一种超高纯SF6管道输气系统，其特征在于，中间站存储系统包括气态高压存储系统、低压缓存系统、余气回收系统、低压电子式压力传感器VIS2、低压压力表、高压压力表、电子式压力传感器VIS2和若干个阀门，若干个阀门包括阀门五、阀门六、阀门七、阀门八、阀门九、阀门十、阀门十一和阀门十二，全自动气体切换系统的低压出气口、阀门九、低压缓存系统、阀门十、余气回收系统、阀门十一、气态高压存储系统和阀门十二依次串联连通，全自动气体切换系统的高压出气口连通阀门十一的进气口，低压压力表串联阀门五后连通低压缓存系统，低压电子式压力传感器VIS2串联阀门六后连通低压缓存系统，电子式压力传感器VIS2串联阀门七后连通气态高压存储系统，高压压力表串联阀门八后连通气态高压存储系统，自动安全监控系统电连接低压电子式压力传感器VIS2和电子式压力传感器VIS2。

4.根据权利要求3所述的一种超高纯SF6管道输气系统，其特征在于，全自动气体切换系统包括高压气体支路和低压气体支路，高压气体支路的高压进气口连通A组气瓶和B组气瓶，低压气体支路的低压进气口连通A组气瓶和B组气瓶，高压气体支路的高压出气口连通气态高压存储系统，低压气体支路的低压出气口连通低压缓存系统。

5.根据权利要求4所述的一种超高纯SF6管道输气系统，其特征在于，高压气体支路包括阀门一、电动球阀DV1、电动球阀DV4、单向球阀CV1、单向球阀CV4、过滤器一、取样阀一和阀门三，A组气瓶、阀门一、电动球阀DV1、单向球阀CV1、过滤器一、阀门三和气态高压存储系统依次串联连通，B组气瓶、阀门二、电动球阀DV4、单向球阀CV4和过滤器一的进气口依次串联连通，自动安全监控系统电连接电动球阀DV1、电动球阀DV4和过滤器一；

低压气体支路包括阀门二、电动球阀DV2、电动球阀DV3、单向球阀CV2、单向球阀CV3、过滤器二、取样阀二和阀门四，A组气瓶、阀门一、电动球阀DV2、单向球阀CV2、过滤器二、阀门四和低压缓存系统依次串联连通，B组气瓶、阀门二、电动球阀DV3、单向球阀CV3和过滤器二的进气口依次串联连通，自动安全监控系统电连接电动球阀DV2、电动球阀DV3和过滤器二。

6.根据权利要求3所述的一种超高纯SF6管道输气系统，其特征在于，自动安全监控系统包括控制器和三级压力保护系统，三级压力保护系统包括机械式压力开关PS1、机械式压力开关PS2、机械式压力开关PS、阀门十六、阀门十五、阀门十三、电动阀门M、电动阀门MV1和电动阀门MV2，

控制器电连接电动阀门M、电动阀门MV1、电动阀门MV2和电动阀门MV3，电动阀门MV1串联在全自动气体切换系统的低压出气口和阀门九的进气口之间，阀门十五串联机械式压力开关PS1后并联在电动阀门MV1两端，电动阀门M串联在余气回收系统的出气口和阀门十一的进气口之间，阀门十三串联机械式压力开关PS后并联在电动阀门M上，电动阀门MV2串联在全自动气体切换系统的高压出气口和阀门十一的进气口之间，机械式压力开关PS2串联阀门十六后并联在电动阀门MV2上。