[发明专利]晶圆盒夹持装置及晶圆清洗机

权利要求书

1.一种晶圆盒夹持装置，其特征在于，包括底板、支撑组件、夹持杆、夹持手臂、运动轨迹筒、推板和动力机构，其中：

两个所述夹持杆通过所述支撑组件可转动地安装于所述底板上；

至少一对所述夹持手臂分别安装于两个所述夹持杆上，并与所述夹持杆同轴转动；

两个所述运动轨迹筒分别安装于两个所述夹持杆上，所述运动轨迹筒与所述夹持杆同轴转动，所述运动轨迹筒上设有导向槽，所述导向槽与所述运动轨迹筒的轴线不平行；

所述动力机构安装于所述底板上，且与所述推板连接，所述推板的两端分别插入所述导向槽中，所述动力机构用于驱动所述推板移动，以带动所述运动轨迹筒和所述夹持杆转动，进而带动所述夹持手臂转动。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于，所述动力机构包括伸缩气缸，所述伸缩气缸上设置有调速阀。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于，所述支撑组件包括轴承支座，所述轴承支座安装在所述底板上，所述夹持杆穿设于所述轴承支座中。

4.根据权利要求1-3中任意一者所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于，所述晶圆盒夹持装置还包括传感器和感应件，所述传感器设置在所述底板上，所述感应件设置在所述夹持杆上，所述传感器在所述夹持杆带动所述夹持手臂旋转到夹持位置时，被所述感应件触发，并发出第一预设信号。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于，所述传感器在所述夹持杆带动所述夹持手臂旋转到放开位置时，被所述感应件触发，并发出第二预设信号。

6.根据权利要求1-3中任意一者所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于，所述晶圆盒夹持装置还包括夹持手臂连接组件，所述夹持手臂通过所述夹持手臂连接组件安装于所述夹持杆上。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于，所述夹持手臂连接组件包括第一夹持手臂连接块、第二夹持手臂连接块，所述第一夹持手臂连接块和所述第二夹持手臂连接块相互配合夹设在所述夹持杆上，所述夹持手臂与所述第一夹持手臂连接块和/或所述第二夹持手臂连接块固定连接。

8.根据权利要求1-3中任意一者所述的晶圆盒夹持装置，其特征在于，所述运动轨迹筒套设在所述夹持杆上，所述运动轨迹筒上还设有固定孔，所述运动轨迹筒通过一固定件和所述固定孔与所述夹持杆固定连接。

9.一种晶圆清洗机，其特征在于，包括如权利要求1-8中任意一者所述的晶圆盒夹持装置。