[发明专利]一种放射线图像探测器及其制作方法

权利要求书

1.一种放射线图像探测器，其特征在于，包括：

放射线转换层，用于将放射线图像转换为可见光图像；

可见光图像探测层，所述可见光图像探测层包括复数个光敏像素组成的像素阵列，用于探测所述可见光图像；

微透镜层，设置于所述放射线转换层和所述可见光图像探测层之间，所述微透镜层包括复数个微型凸透镜组成的透镜阵列，所述微型凸透镜的光轴垂直于所述可见光图像探测层；

并且，所述放射线转换层和所述微透镜层以及所述可见光图像探测层均为曲面结构，且弯曲方向相同。

2.根据权利要求1所述的放射线图像探测器，其特征在于，

所述微透镜层还包括一遮光结构，设置于所述微透镜层靠近所述可见光图像探测器一侧，所述遮光结构包括至少一层遮光层，所述遮光层包括复数个通孔，所述通孔和所述微型凸透镜一一对应。

3.根据权利要求2所述的放射线图像探测器，其特征在于，

一个所述光敏像素和复数个所述微型凸透镜和复数个所述通孔相对应。

4.根据权利要求3所述的放射线图像探测器，其特征在于，

所述通孔的孔径与所述通孔的中心到所述光敏像素的边缘的距离相关，所述距离越小，所述孔径就越小。

5.根据权利要求2所述的放射线图像探测器，其特征在于，

所述通孔的中心与和其对应的所述微型凸透镜的光轴相互重合。

6.根据权利要求1所述的放射线图像探测器，其特征在于，

所述曲面结构为球面的一部分，并且放射线转换层和所述微透镜层以及所述可见光图像探测层的曲率半径基本相同。

7.根据权利要求6所述的放射线图像探测器，其特征在于，

所述曲率半径大致等于所述放射线转换层到入射放射线的焦点的距离，所述焦点为任意两条入射放射线的实际交点处或虚拟交点处。

8.一种放射线图像探测器的制作方法，其特征在于，包括：

在第一基板上制作放射线转换层，所述放射线转换层用于将放射线图像转换为可见光图像；

在第二基板上制作可见光图像探测层，所述可见光图像探测层包括复数个光敏像素组成的像素阵列，用于探测可见光图像；

在所述可见光图像探测层上制作遮光结构和透镜阵列；

将所述第一基板和第二基板进行弯曲处理并覆盖和贴合；

其中，所述第一基板和所述第二基板的弯曲方向及弯曲形状相同。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述将所述第二基板进行弯曲处理并覆盖和贴合包括：

对所述第二基板进行减薄处理，然后将减薄处理后的所述第二基板及弯曲后的第一基板放置在弯曲的模具内贴合和封装成型。

10.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述将所述第二基板进行弯曲处理，包括：

在所述第二基板背离所述可见光图像探测层的一侧制作一层或复数层的金属薄膜，所述金属薄膜具备一定的内部扩张或收缩应力；

用激光或其它方法在所述金属薄膜上制作复数个开口或沟槽，以缓解所述金属薄膜的所述内部应力，使所述第二基板具备特定的弯曲形状。