[发明专利]一种贵金属表面防腐蚀复合薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种贵金属表面防腐蚀复合薄膜，其特征在于，包括贵金属基体，以及依次形成于贵金属基体上的有机金属化合物薄膜、氧化铝薄膜和氧化钛薄膜；所述有机金属化合物薄膜、氧化铝薄膜和氧化钛薄膜的厚度均为1～100nm；所述有机金属化合物薄膜在给予表面保护的同时防止金属基体高温氧化，氧化铝薄膜提供防腐蚀骨架与水氧隔离能力，氧化钛无机薄膜填充骨架与孔洞形成致密保护层提供抗腐蚀保护，在不改变表面颜色的前提下提供致密的保护层，有效防止腐蚀氧化。

2.如权利要求1所述的贵金属表面防腐蚀复合薄膜，其特征在于，所述有机金属化合物薄膜为Alcone薄膜或Zircone薄膜。

3.如权利要求1所述的贵金属表面防腐蚀复合薄膜，其特征在于，所述贵金属基体为Au、Ag或Pt。

4.一种贵金属表面防腐蚀复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1.清洗贵金属基体，吹干，放入原子层沉积腔室中，将反应腔室抽至真空0.005torr以下；

步骤2.制备有机金属化合物薄膜，具体为：设置反应腔室温度为80～120℃，通入气体，使腔室达到原子层沉积所需的工艺压力，然后停止通入气体，以脉冲形式向反应腔室中通入前驱体A进行沉积，然后通入气体进行吹扫，再将前驱体B以脉冲形式通入反应腔室，以和沉积在贵金属基体上的前驱体A反应，再通入气体吹扫，重复“通前驱体A-吹扫-前驱体B-吹扫”过程，即可在贵金属基体上得到有机金属化合物薄膜；

步骤3.制备氧化铝薄膜，具体为：设置腔室温度为120～200℃，以脉冲形式向反应腔室中通入铝源进行沉积，然后通入气体进行吹扫，再将前驱体C以脉冲形式通入反应腔室，以和沉积在有机金属化合物薄膜上的Al原子反应，再通入气体吹扫，重复“通铝源-吹扫-前驱体C-吹扫”过程，即可在有机金属化合物薄膜上得到氧化铝薄膜；

步骤4.制备氧化钛薄膜，具体为：设置腔室温度为120～200℃，以脉冲形式向反应腔室中通入钛源进行沉积，然后通入气体进行吹扫，再将前驱体C以脉冲形式通入反应腔室，以和沉积在氧化铝薄膜上的Ti原子反应，再通入气体吹扫后，重复“通钛源-吹扫-前驱体C-吹扫”过程，即可在贵金属基体上得到防腐蚀复合薄膜。

5.如权利要求4所述贵金属表面防腐蚀复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述前驱体A为三甲基铝或四二甲氨基锆；所述前驱体B为乙二醇或异丙醇；所述前驱体C为去离子水；所述铝源为三甲基铝；所述钛源为四二甲氨基钛、异丙醇钛或四氯化钛。

6.如权利要求4所述贵金属表面防腐蚀复合薄膜的制备方法，其特征在于，前驱体A～C、铝源和钛源的单个脉冲持续时间为0.02～5s，气体吹扫时间为10s～20s。

7.如权利要求4所述贵金属表面防腐蚀复合薄膜的制备方法，其特征在于，所述气体为N₂、Ar₂、H₂、氮氢混合气或氩氢混合气。