[发明专利]基于液滴的有机分子薄膜及其微纳器件阵列的制备方法

权利要求书

1.一种基于液滴的有机分子薄膜及其微纳器件阵列的制备方法，其特征在于，配制有机分子溶液，在衬底上制备有机分子的成核位置，通过滴涂及衬底加热，快速生长膜薄，或在指定成核位置生长具有高结晶度和均匀性的定向分子器件阵列；

所述的配制有机分子溶液是将有机分子溶解在低粘度、低表面张力的试剂中，配制得到的有机分子溶液的质量浓度为0.5～5mg/ml；

所述的有机分子包括难以形成膜和器件的新型高性能分子铁电体或有机半导体材料；

所述的低粘度、低表面张力的试剂包括甲醇、正己烷或甲基乙基酮MEK；

所述的成核位置为微纳米金属电极图形上，或微纳米金属电极之间，当电极的表面能大于其它位置时，有机分子主要成膜电极上，当电极较厚导致台阶处表面能更大时，有机分子主要成膜在电极间；

所述的滴涂为将有机分子溶液以小液滴的形式落在衬底上，液滴以零接触角向周围边扩散边蒸发。

2.根据权利要求1所述的一种基于液滴的有机分子薄膜及其微纳器件阵列的制备方法，其特征在于，所述的难以形成膜和器件的新型高性能分子铁电体包括二异丙基溴化铵DIPAB或克酮酸CA；所述的有机半导体材料包括NPB或Alq₃。

3.根据权利要求1所述的一种基于液滴的有机分子薄膜及其微纳器件阵列的制备方法，其特征在于，所述的衬底为氧化硅、硅、玻璃、氧化铟锡玻璃、PI或PET柔性衬底。

4.根据权利要求1所述的一种基于液滴的有机分子薄膜及其微纳器件阵列的制备方法，其特征在于，所述的在衬底上制备有机分子的成核位置，是采用电子束或热蒸发在衬底表面形成一层金属电极层，再通过普通光刻，制作微纳米金属电极图形，获得成核位置。

5.根据权利要求4所述的一种基于液滴的有机分子薄膜及其微纳器件阵列的制备方法，所述的金属电极层为Cr/Au两层金属，其中Cr的厚度为2nm以上，Au的厚度为3nm以上。

6.根据权利要求1所述的一种基于液滴的有机分子薄膜及其微纳器件阵列的制备方法，其特征在于，所述的衬底加热是将衬底加热至高于溶剂沸点5～10℃，促进液滴中试剂的挥发。