[发明专利]一种基于红外增透膜的高精度温度传感器装置

权利要求书

1.一种基于红外增透膜的高精度温度传感器装置，其特征在于，包括依次设置的透镜、滤光片、调制盘、红外探测器、前置放大器、选频放大器、同步检波电路、加法器、发射率调节电路、A/D变换器、数码显像管；多谐振荡器连接同步检波电路和步进电机，所述步进电机连接调制盘；调制盘周围还设有与依次与放大电路及加法相连的环境温度传感器；透镜表面蒸镀有红外增透膜，红外增透膜的底层为锌镁铯钇合金层，上层为常规DLC层。

2.根据权利要求1所述的基于红外增透膜的高精度温度传感器装置，其特征在于，锌镁铯钇合金的制备方法为：用王水和乙醇先后分别处理坩埚，再用去离子水冲洗后烘干，将坩埚处于可密闭系统中并加热到600℃，然后加入质量分数比为9:(2-0.5):9:10的Zn、Mg、Se、Y，再向坩埚内通入氩气，密闭系统，维持真空至2×10^-3～6×10^-3 Pa，然后升温室960℃，维持12h，再以20-40℃/h的速度降至常温，即得。

3.根据权利要求1所述的基于红外增透膜的高精度温度传感器装置，其特征在于，红外增透膜的蒸镀方法为：采用电子束加热蒸法，以离子束压550-750eV，控制离子束流25-55mA，以0.2-1.0nm/s的速率在透镜基底表面溅射一层厚度为厚λ/16-λ/2的膜，溅射时间10-25min，退火后得锌镁铯钇合金层；常规方法镀制λ/4厚度的DLC膜。

4.根据权利要求1所述的基于红外增透膜的高精度温度传感器装置，其特征在于，透镜的基底材料为锗、硅、硫化锌或硒化锌。

5.一种能用作红外增透膜的锌镁铯钇合金，其特征在于，制备方法为：用王水和乙醇先后分别处理坩埚，再用去离子水冲洗后烘干，将坩埚处于可密闭系统中并加热到600℃，然后加入质量分数比为9:(2-0.5):9:10的Zn、Mg、Se、Y，再向坩埚内通入氩气，密闭系统，维持真空至2×10^-3～6×10^-3 Pa，然后升温室960℃，维持12h，再以20-40℃/h的速度降至常温，即得。