[发明专利]一种磁性L型微纳米机器人及其制备方法和用途

权利要求书

1.一种磁性L型微纳米机器人，其特征在于，所述磁性L型微纳米机器人的线宽为0.3-1μm。

2.如权利要求1所述的磁性L型微纳米机器人，其特征在于，所述磁性L型微纳米机器人的长边、宽边和线宽的长度之比为(2-5):(1.5-4):1，优选为(2-3):(1.5-2):1；

优选地，所述磁性L型微纳米机器人的厚度为50-160nm。

3.如权利要求1或2所述的磁性L型微纳米机器人，其特征在于，所述磁性L型微纳米机器人包括磁性层和保护层；

优选地，所述保护层位于所述磁性层的两侧。

4.如权利要求3所述的磁性L型微纳米机器人，其特征在于，所述磁性层的材质选自镍、钴、锌、铁、铜、银、金或铂中的任意一种或至少两种的组合；

优选地，所述保护层的材质选自钛。

5.如权利要求3或4所述的磁性L型微纳米机器人，其特征在于，所述磁性层的材质为镍和/或钴。

6.如权利要求3-5任一项所述的磁性L型微纳米机器人，其特征在于，所述磁性层的厚度为50-120nm；

优选地，所述保护层的厚度为2-20nm。

7.如权利要求1-6任一项所述的磁性L型微纳米机器人的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)在基底上蒸镀两性金属层；

(2)在步骤(1)得到的两性金属层的表面涂覆电子束胶，进行一次烘烤，曝光，显影，二次烘烤；

(3)将步骤(2)的产物进行ICP等离子刻蚀，之后蒸镀金属层；

(4)将步骤(3)的产物置于碱液中，加入表面活性剂，浸泡，得到所述磁性L型微纳米机器人。

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述基底包括硅片、玻璃片或石英片中的任意一种；

优选地，步骤(1)中所述两性金属层包括金属铝层；

优选地，步骤(1)中所述两性金属层的厚度为50-250nm；

优选地，步骤(2)中所述涂覆的方法包括旋涂；

优选地，所述旋涂的速率的2000-4000r/min；

优选地，步骤(2)所述一次烘烤的温度为80-95℃；

优选地，步骤(2)所述一次烘烤的时间为1-3min；

优选地，步骤(2)所述曝光的参数为500-700μC/cm²；

优选地，步骤(2)所述显影的方法包括将经曝光的产物置于显影液中；

优选地，经曝光的产物置于显影液中的时间为1-2min；

优选地，步骤(2)所述二次烘烤的温度为80-90℃；

优选地，步骤(2)所述二次烘烤的时间为1-2min；

优选地，步骤(3)所述ICP等离子刻蚀的功率为100-500W；

优选地，步骤(3)所述ICP等离子刻蚀的时间为40-60s；

优选地，步骤(3)所述蒸镀的方法为电子束蒸镀；

优选地，步骤(4)所述碱液包括氢氧化钠溶液、氨水、碳酸氢钠溶液、氢氧化钙溶液或氢氧化钾溶液中的任意一种或至少两种的组合；

优选地，步骤(4)所述碱液的pH为8-14；

优选地，步骤(4)所述表面活性剂包括柠檬酸钠、直链烷基苯磺酸钠、α-烯基磺酸钠、卵磷脂、氨基酸型或甜菜碱中的任意一种或至少两种的组合；

优选地，步骤(4)中浸泡的时间为0.1-2h，优选为10-60min；

优选地，步骤(4)所述浸泡的过程伴随超声。