[发明专利]一种DMD模块化设计的安装调试机构及LDI设备

说明书

本发明涉及激光直接成像技术领域，公开了一种DMD模块化设计的安装调试机构及LDI设备，包括安装架和快速拆装组件，安装架用于安装DMD曝光头和CCD相机；快速拆装组件包括第一挂接件和第二挂接件，第一挂接件上设置有挂杆，第二挂接件上设置有悬挂槽，挂杆能够与悬挂槽相配合，第一挂接件和第二挂接件中的一个安装在LDI设备的龙门架上，另一个安装在安装架上，安装架通过快速拆装组件可拆卸地安装在LDI设备的龙门架上。该DMD模块化设计的安装调试机构，将DMD曝光头和CCD相机集成设置在一个安装架上，以便于在线下配合CCD相机对DMD曝光头进行各项调试，缩短线上调试时间；然后通过第一挂接件和第二挂接件的配合，提高安装架拆装效率，进而提高作业效率。

技术领域

本发明涉及激光直接成像技术领域，尤其涉及一种DMD模块化设计的安装调试机构及LDI设备。

背景技术

基于激光直接成像技术(Laser Direct Imaging，简称LDI)的LDI设备为曝光制程中最重要的设备之一。目前，在LDI设备中，通常利用基于数字微反射镜阵列(DigitalMicromirror Device，简称DMD)的曝光头(以下简称DMD曝光头)对工件(例如PCB)进行曝光处理。

在现有的LDI设备中，通常将多个DMD曝光头独立安装在龙门架上，在作业过程中，当DMD曝光头出现故障需要更换时，需要停机维修，在更换新的DMD曝光头后，需要配合CCD相机对DMD曝光头进行多项调试，比如光斑完整性与均匀性调试、镜头倍率及角度调试、焦面调试、不同DMD曝光头之间曝光强度补偿调试、不同波段光源的测量、DMD曝光头与DMD曝光头关系标定以及单双向拼接调试等，现有的LDI设备在更换DMD曝光头后，调试时间较长，从而严重影响作业效率。

因此，亟待需要一种DMD模块化设计的安装调试机构以解决上述问题。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种DMD模块化设计的安装调试机构，以解决现有技术中更换DMD曝光头后，调试时间较长、作业效率低的问题。

本发明的另一个目的在于提供一种LDI设备，通过应用上述DMD模块化设计的安装调试机构，能够缩短停机维修及调试时间，提高作业效率。

为实现上述目的，提供以下技术方案：

一方面，提供了一种DMD模块化设计的安装调试机构，包括：

安装架，用于安装DMD曝光头和CCD相机；

快速拆装组件，包括第一挂接件和第二挂接件，所述第一挂接件上设置有挂杆，所述第二挂接件上设置有悬挂槽，所述挂杆能够与所述悬挂槽相配合，所述第一挂接件和所述第二挂接件中的一个被配置为安装在LDI设备的龙门架上，另一个安装在所述安装架上；

所述安装架和所述快速拆装组件固定连接，并且通过所述快速拆装组件可拆卸地安装在所述LDI设备的龙门架上。

作为DMD模块化设计的安装调试机构的优选方案，所述安装架包括第一安装板和第二安装板，所述第二安装板固定设置在所述第一安装板上，所述第一安装板用于安装所述DMD曝光头，所述第二安装板用于安装所述CCD相机。

作为DMD模块化设计的安装调试机构的优选方案，所述第二安装板为L型安装板，所述L型安装板的第一支臂与所述第一安装板固定连接，其第二支臂与所述第一安装板平行设置，第二支臂上设置有若干个CCD安装孔位，每个CCD安装孔位用于安装一个CCD相机。

作为DMD模块化设计的安装调试机构的优选方案，所述第一安装板上设置有若干个DMD安装孔位，每个所述DMD安装孔位用于安装一个所述DMD曝光头。

作为DMD模块化设计的安装调试机构的优选方案，所述第二安装板上设置有若干个CCD安装孔位，每个所述CCD安装孔位用于安装一个所述CCD相机。