[发明专利]一种多级复眼透镜的制造方法

权利要求书

1.一种多级复眼透镜的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)利用光刻方法制备微柱阵列：将光刻胶4620旋涂在玻璃片上，旋涂速度为1500r/s，放在烘台上5min，重复旋涂，获得厚度为22μm的微孔阵列，即样片一；利用PDMS对样片一进行两次翻模后，得到微孔阵列模具，即样片二；将NOA61紫外固化胶浇筑在样片二的PDMS曲面上，压上玻璃基底，然后紫外曝光机曝光100s，脱模制得高度为22μm的微柱阵列，即样片三；

2)给样片三表面溅射30nm的ZnO得到样片四，利用微喷印机在样片四的微柱阵列间隙喷印紫外固化胶，利用液滴滴落次数控制微透镜形貌，液滴滴落次数为2-12，得到具有微透镜阵列的样片五；

3)将7g六甲基四胺和14.87g硝酸锌分别溶于500ml的去离子水中，搅拌20分钟，然后将六甲基四胺溶液倒入硝酸锌溶液中，混合搅拌15分钟得到混合溶液，将样片五放入混合溶液中，放入90℃水浴锅中水浴80分钟，得到样片六；

4)将样片六用去离子水清洗2分钟，放在60℃的烘台上50分钟，得到多级复眼透镜。