[发明专利]一种单晶炉热场及单晶炉

权利要求书

1.一种单晶炉热场，应用于单晶炉，所述热场包括保温组件和坩埚件，所述坩埚件用于容置原料，所述保温组件位于所述坩埚件的外侧，其特征在于，所述热场还包括：感应线圈和升降机构；

所述感应线圈套设在所述保温组件远离所述坩埚件的一侧，所述感应线圈用于产生交变磁场，通过所述交变磁场使所述坩埚件产生涡流，以加热所述坩埚件；

所述升降机构与所述感应线圈相连接，用于驱动所述感应线圈升降。

2.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述感应线圈包括由空心导线沿所述保温组件的周向绕设而成的线圈结构。

3.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述空心导线的横截面为矩形，所述空心导线的矩形横截面中的第一边和第二边与所述感应线圈的轴线平行。

4.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述空心导线的空心内部构成冷却腔室，所述空心导线的两端分别与冷却机构连接，以使所述冷却机构中的冷却介质在所述冷却腔室和所述冷却机构之间循环，对所述感应线圈进行降温。

5.根据权利要求4所述的单晶炉热场，其特征在于，所述冷却介质为液态惰性气体。

6.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述感应线圈还包括：承载环件和多个支撑件；

所述承载环件套设在所述保温组件远离所述坩埚件的一侧，所述升降机构设置在所述承载环件的底部，所述承载环件与所述升降机构相连接，所述承载环件远离所述升降机构的一端与所述感应线圈连接，以承载所述感应线圈；

所述多个支撑件沿所述感应线圈的周向间隔设置，所述支撑件的一端与所述承载环件固定连接，以将所述感应线圈固定在所述承载环件上。

7.根据权利要求6所述的单晶炉热场，其特征在于，所述承载环件和支撑件由钼、钨或碳碳复合材料制成。

8.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述坩埚件包括埚帮和坩埚，所述坩埚位于所述埚帮内，所述埚帮用于在所述交变磁场的作用下产生涡流，对所述坩埚进行加热，所述埚帮为多层复合结构。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的单晶炉热场，其特征在于，还包括：电磁屏蔽层，所述电磁屏蔽层环绕所述感应线圈，设置在所述感应线圈远离所述保温组件的一侧。

10.一种单晶炉，其特征在于，包括炉体和如权利要求1-9任一项所述的单晶炉热场，所述保温组件和坩埚件均设置在所述炉体内，所述感应线圈位于所述炉体与所述保温组件之间，所述升降机构的一端延伸至所述炉体内。