[发明专利]一种具有空间光阵列分束功能器件的装调装置

说明书

本发明提供的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置包括：光源、分束棱镜、十字分划板、透镜组、光阑、CCD及待装调空间光阵列分束功能器件，所述光源出射的光束经所述分束棱镜后折转90度，再依次经所述十字分划板、所述透镜组及所述光阑后，以平行光照射所述待装调空间光阵列分束功能器件后返回至所述透镜组，再依次经所述十字分划板及所述分束棱镜后成像在所述CCD处，本发明提供的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置，利用两路反射光的十字分划像是否重合达到在线实时监测空间分束阵列装调质量辅助装调目的，可有效降低空间分束阵列装调过程中的装调误差，从而提高空间分束阵列的波前分割一致性，进而提高仪器光谱成像性能。

技术领域

本发明涉及光谱成像技术领域，特别涉及一种具有空间光阵列分束功能器件的装调装置。

背景技术

空间光分束阵列是将波前分割组件按照调制需求排列并胶结固化在承载组件上的一类新型光学元件，波前分割组件多为等腰直角棱镜，斜边平面镀反射膜用以将入射光不同区域波前分割到指定路径上，利用承载组件与波前分割组件的一体化可有效简化结构，提高精度，配合其他光学元件实现微米到毫米级别不同频率光的差异性空间调制功能，配合其他光学元件可实现空间分幅超快光谱成像，可广泛应用于高分辨率瞬态微弱信号光谱分析领域中。

由于波前分割组件与承载组件进行胶结及固化时间较短，且波前分割组件波排列精度直接决定该元件的空间调制性能，进而影响光谱成像性能。因此，需要一种大口径实时辅助装调技术，在线辅助装调，提高波前分割组件波排列精度。鉴于空间分束阵列结构的独特性及新颖性，目前尚未有该技术的报道公开。

发明内容

有鉴如此，有必要针对现有技术存在的缺陷，提供一种可提高空间光分束阵列的波前分割一致性的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种具有空间光阵列分束功能器件的装调装置，包括：光源、分束棱镜、十字分划板、透镜组、光阑、CCD及待装调空间光阵列分束功能器件，其中：

所述光源出射的光束经所述分束棱镜后折转90度，再依次经所述十字分划板、所述透镜组及所述光阑后，以平行光照射所述待装调空间光阵列分束功能器件后返回至所述透镜组，再依次经所述十字分划板及所述分束棱镜后成像在所述CCD处。

在一些较佳的实施例中，所述光源位于所述透镜组的焦点处以使入射到所述待装调空间光阵列分束功能器件的光为平行光。

在一些较佳的实施例中，所述透镜组由多个透镜经消色差设计组成，保证准直性能同时抑制色差影响。

在一些较佳的实施例中，所述CCD位于所述分束棱镜后的透镜组焦点处以获取清晰的十字分划板像。

在一些较佳的实施例中，所述光阑可根据空间光阵列分束功能器件的排列分布变化而变化，用于监测不同反射单元垂直距离装调质量。

本发明采用上述技术方案的优点是：

本发明提供的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置包括：光源、分束棱镜、十字分划板、透镜组、光阑、CCD及待装调空间光阵列分束功能器件，所述光源出射的光束经所述分束棱镜后折转90度，再依次经所述十字分划板、所述透镜组及所述光阑后，以平行光照射所述待装调空间光阵列分束功能器件后返回至所述透镜组，再依次经所述十字分划板及所述分束棱镜后成像在所述CCD处，本发明提供的具有空间光阵列分束功能器件的装调装置，利用两路反射光的十字分划像是否重合达到在线实时监测空间分束阵列装调质量辅助装调目的，可有效降低空间分束阵列装调过程中的装调误差，从而提高空间分束阵列的波前分割一致性，进而提高仪器光谱成像性能。

附图说明