[发明专利]一种带钢真空镀膜设备及工艺

权利要求书

1.一种带钢真空镀膜工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1：清洗后的带钢经过真空压差室进入预热室，利用电子枪对带钢进行预热；

S2：预热后的带钢进入第一镀膜室，设于第一镀膜室内的第一电子枪射出电子束对第一坩埚进行加热，使第一坩埚内的物料加热蒸发，进行带钢下表面的镀膜工作；

S2：随后带钢进入第二镀膜室，并与设于带钢水平方向的两个导向辊以及设于下方的若干导向辊连接形成上窄下宽的容纳空间，使带钢上表面朝向该容纳空间内部，水平方向的两个导向辊之间留有缝隙，设于容纳空间上方的第二电子枪射出的电子束穿过该缝隙对设于容纳空间内部的第二坩埚进行加热，使第二坩埚内的物料加热蒸发，进行带钢上表面的镀膜工作；

S3：镀膜完成的带钢进入冷却室，冷却后进入第二真空压差室；

S4：对镀膜后的带钢进行收卷。

2.根据权利要求1所述的带钢真空镀膜工艺，其特征在于，所述带钢真空镀膜工艺所使用的真空镀膜设备包括依次连通的第一真空压差室、预热室、镀膜室、冷却室、第二真空压差室，所述镀膜室包括设于同一水平面上的第一镀膜室和第二镀膜室，所述第一镀膜室设有对带钢一面进行镀膜的第一镀膜机构，所述第二镀膜室沿带钢水平运行方向的下方设有若干导向辊，带钢与设于水平线上的导向辊水平相切，并与设于下方的若干导向辊依次连接形成容纳空间，所述容纳空间内设有对带钢另一面进行镀膜的第二镀膜机构；所述第二镀膜室中容纳空间呈上窄下宽结构；所述容纳空间为由四根导向辊构成的梯形结构，上面两根导向辊之间的间距小于下面两根导向辊之间的间距，带钢与四根导向辊形成左上-左下-右下-右上依次连接，使上面两根导向辊之间留有缝隙。

3.根据权利要求2所述的带钢真空镀膜工艺，其特征在于，所述第一镀膜室中镀膜设备包括第一电子枪和第一坩埚，所述第一坩埚设于带钢水平线下方，第一电子枪设于第一坩埚的上方水平放置并射出电子束对第一坩埚进行加热。

4.根据权利要求2所述的带钢真空镀膜工艺，其特征在于，所述第二镀膜机构包括第二电子枪和第二坩埚，所述第二坩埚设于容纳空间内，所述第二电子枪设于所述容纳空间上方竖直放置，向下射出的电子束从上面两根导向辊之间的缝隙穿过对第二坩埚进行加热。

5.根据权利要求4所述的带钢真空镀膜工艺，其特征在于，所述第一电子枪和第二电子枪为磁偏转电子枪。

6.根据权利要求2所述的带钢真空镀膜工艺，其特征在于，所述预热室内设有对带钢预热的电子枪。

7.根据权利要求2所述的带钢真空镀膜工艺，其特征在于，所述第一真空压差室和第二真空压差室处于同一水平线上。

8.根据权利要求2所述的带钢真空镀膜工艺，其特征在于，所述第一镀膜室和第二镀膜室的先后顺序能够调换。