[发明专利]一种磁控溅射靶材组件及其制备方法

权利要求书

1.一种磁控溅射靶材组件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：先采用石墨烯纳米片为原料制备石墨烯纳米片纸，然后把石墨烯纳米片纸与背板交替叠加在一起后置于平板硫化机下进行压制，即可得到石墨烯纳米片纸/背板复合层，之后把石墨烯纳米片纸/背板复合层与电极、靶材贴合在一起，即可得到磁控溅射靶材组件；

置于平板硫化机下进行压制的压力为10～15MPa，压制时间为10～30min；

所述石墨烯纳米片的层数为5～6层；

所述石墨烯纳米片的直径为5～8μm；

制备得到的石墨烯纳米片纸的厚度为100～200μm。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，交替叠加的具体步骤为：把两块石墨烯纳米片纸与一块背板交替叠加。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，制备石墨烯纳米片纸的具体制备步骤为：先将石墨烯纳米片置于分散剂中，使石墨烯纳米片与分散剂配置成0.002g/ml的分散液，然后使用磁力搅拌器搅拌至均匀后，置于超声波机中超声分散均匀后得到石墨烯分散液，最后将石墨烯分散液过滤、干燥后即可得到所述的石墨烯纳米片纸。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，过滤、干燥的具体步骤为：先每次量取50ml的石墨烯分散液进行抽滤后得到石墨烯纳米片滤饼，然后将抽滤完毕得到的石墨烯纳米片滤饼置于200～600℃真空烘箱中2～6h。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述背板为铜片或者铝片。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述分散剂为去离子水、无水乙醇、N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基吡咯烷酮中的一种。

7.一种磁控溅射靶材组件，其特征在于，该磁控溅射靶材组件采用权利要求1～6任一所述的一种磁控溅射靶材组件的制备方法制备而成。