[发明专利]一种基于双层不对称金属微纳光栅的双波长滤波器在审
| 申请号： | 202010045145.9 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111221065A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 刘璟;虞高翔;郑佳春;陈威;马文壮 | 申请（专利权）人： | 集美大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 何家富 |
| 地址： | 361000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 双层 不对称 金属 光栅 波长 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于双层不对称金属微纳光栅的双波长滤波器，其特征在于：包括中间氮化硅介质波导层以及结构相同的上层金属微纳光栅和下层金属微纳光栅，并且所述上层金属光栅和所述下层金属光栅不对称地镶嵌在所述中间氮化硅介质波导层的上下两面中。
2.根据权利要求1所述的双波长滤波器，其特征在于：所述双波长滤波器的一个周期包含两组上层金属微纳光栅和下层金属微纳光栅。
3.根据权利要求2所述的双波长滤波器，其特征在于：两个上层金属微纳光栅之间的间距与两个下层金属微纳光栅之间的间距不同。
4.根据权利要求3所述的双波长滤波器，其特征在于：所述双波长滤波器一个周期的长度P＝1000nm；上层金属微纳光栅和下层金属微纳光栅的厚度tm＝40nm，宽度w＝100nm；两个不同上层金属微纳光栅之间的间距分别为L1＝633nm，P-L1＝367nm；两个不同下层金属微纳光栅之间的间距分别为L2＝460nm，P-L2＝540nm；中间氮化硅介质波导层厚度Td＝250nm。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的双波长滤波器，其特征在于：所述上层金属微纳光栅和下层金属微纳光栅由银制成。
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