[发明专利]蒸发装置及蒸镀设备

说明书

本发明提供一种蒸发装置及蒸镀设备，属于蒸镀技术领域，其可解决现有的蒸发装置中主体材料与掺杂材料掺杂不均匀的问题。本发明的蒸发装置，包括：外壳、位于外壳中的多个坩埚和多个第一喷嘴；坩埚包括：坩埚主体和位于坩埚主体上的坩埚盖；第一喷嘴设置于坩埚盖上；蒸发装置还包括：间隔的多个挡板；挡板上设置有多个通孔，且通孔的孔径小于第一喷嘴的孔径；至少部分第一喷嘴被限定在挡板与坩埚盖之间，且与第一喷嘴上邻近的挡板之间具有一定距离。

技术领域

本发明属于蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸发装置及蒸镀设备。

背景技术

目前，显示面板中的有机发光材料层一般采用蒸镀的方式形成，为了提高红色材料和蓝色材料的纯度、效率和稳定性，主要通过对主体材料进行掺杂，以得到纯度、发光效率和稳定性都较好的红色材料和蓝色材料。在蒸镀设备中，主体材料和掺杂材料经过气化或升华后，通过喷嘴喷出，然后通过角度板调节和改变各个材料的喷出方向，使得两种材料充分掺杂后而蒸镀到玻璃衬底上。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：在生产过程中，坩埚喷嘴容易发生堵塞等，使主体材料和掺杂材料掺杂不均，导致产品的稳定性及生产效率下降。并且在生产过程中，蒸发装置中的坩埚为中空结构，外部加热丝对其进行加热，由于传统坩埚仅靠加热丝加热，加热丝易变形，导致坩埚温度均匀性差，整体温度均匀性有10％～20％，喷嘴喷出的材料不均导致主体材料和掺杂材料掺杂不均。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种蒸发装置及蒸镀设备。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种一种蒸发装置，包括：外壳、位于所述外壳中的多个坩埚和多个第一喷嘴；所述坩埚包括：坩埚主体和位于所述坩埚主体上的坩埚盖；所述第一喷嘴设置于所述坩埚盖上；所述蒸发装置还包括：间隔的多个挡板；

所述挡板上设置有多个通孔，且所述通孔的孔径小于所述第一喷嘴的孔径；

至少部分所述第一喷嘴被限定在所述挡板与所述坩埚盖之间，且与所述第一喷嘴上邻近的所述挡板之间具有一定距离。

可选地，所述第一喷嘴贯穿部分所述挡板，被限定在相邻的两个所述挡板之间，且与所述第一喷嘴上邻近的所述挡板之间具有一定距离。

可选地，所述第一喷嘴上邻近的所述挡板与所述第一喷嘴对应的位置封闭设置。

可选地，所述蒸发装置还包括：盖板、第二喷嘴和角度板；

所述盖板位于所述外壳上；

所述第二喷嘴设置于所述盖板上；

所述角度板位于所述第二喷嘴的两侧，且所述角度板远离所述盖板的一端凸出于所述第二喷嘴远离所述盖板的一端。

可选地，所述蒸发装置还包括隔板；所述坩埚位于所述外壳与所述隔板之间以及相邻的两个所述隔板之间；所述外壳和所述隔板为中空结构；

所述外壳和所述隔板中设置有加热丝；

所述外壳与所述加热丝之间以及所述隔板与所述加热丝之间填充有固态盐。

可选地，所述固态盐包括：一种无机盐或多种无机盐的混合物。

可选的呢，所述固态盐包括：质量分数为50％的硝酸钾和质量分数为50％的亚硝酸钠。

可选地，所述加热丝包括：金属丝和绝缘层；

所述绝缘层包覆于所述金属丝外部。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种蒸镀设备，包括多个如上述提供的蒸发装置。

可选地，多个所述蒸发装置的所述第二喷嘴呈线性排布。

附图说明