[发明专利]基于表面等离相位传感的光纤光声显微镜

权利要求书

1.一种基于表面等离相位传感的光纤光声显微镜，其特征在于，包括：偏振光生成组件、分束镜、光纤干涉组件、等离位相传感器、光声波生成组件及光声波检测组件；

所述偏振光生成组件用于生成偏振光并将所述偏振光输入所述分束镜；

所述分束镜设置于所述偏振光生成组件与所述光纤干涉组件及所述光声波检测组件之间，所述分束镜用于对所述偏振光进行分光得到第一偏振光及第二偏振光，并将所述第一偏振光输入所述光声波检测组件、将所述第二偏振光输入所述光纤干涉组件；

所述光声波生成组件用于生成脉冲激发光并照射样品以产生超声压力波；

所述光纤干涉组件用于接收所述第二偏振光并按预设比例输出与所述第二偏振光对应的探测光及参考光；所述光纤干涉组件将所述探测光输入所述等离位相传感器，并将所述探测光经所述等离位相传感器反射所形成的反射光束作为干涉探测光进行接收；所述光纤干涉组件将所述参考光经平面反射所形成的反射光束作为干涉参考光进行接收；

所述等离位相传感器用于接收所述探测光，并将探测光被所述等离位相传感器反射时因受到所述超声压力波的影响而引起变化的反射光束作为所述干涉探测光反向输入至所述光纤干涉组件；

所述光声波检测组件用于接收所述第一偏振光、所述干涉探测光及所述干涉参考光并输出所述样品的探测信息。

2.如权利要求1所述的基于表面等离相位传感的光纤光声显微镜，其特征在于，所述等离位相传感器包括镀膜棱镜及设置于所述镀膜棱镜下方的去离子水膜，所述去离子水膜的下方可用于放置样品。

3.如权利要求2所述的基于表面等离相位传感的光纤光声显微镜，其特征在于，所述镀膜棱镜的底面及用于反射所述探测光的一侧面均设有反射镀层，所述去离子水膜接触所述镀膜棱镜的底面的反射镀层。

4.如权利要求3所述的基于表面等离相位传感的光纤光声显微镜，其特征在于，所述反射镀层为金属镀层。

5.如权利要求2-4任一项所述的基于表面等离相位传感的光纤光声显微镜，其特征在于，所述镀膜棱镜为直角棱镜或梯形棱镜。

6.如权利要求1-4任一项所述的基于表面等离相位传感的光纤光声显微镜，其特征在于，所述偏振光生成组件包括氦氖激光发生器、偏振片及二分之一波片；

所述氦氖激光发生器用于产生探测激光；

所述偏振片设置于所述氦氖激光发生器与所述二分之一波片之间，所述偏振片用于对所述探测激光进行调制以得到调制探测激光；

所述二分之一波片设置于所述偏振片与所述分束镜之间，所述二分之一波片用于对所述调制探测激光的P-偏振及S-偏振的分量进行调整以将调整后的所述调制探测激光作为所述偏振光。

7.如权利要求1-4任一项所述的基于表面等离相位传感的光纤光声显微镜，其特征在于，所述光纤干涉组件包括第一聚焦透镜、第二聚焦透镜、平面反射镜及保偏光纤耦合器；

所述第一聚焦透镜设置于所述保偏光纤耦合器的第一端口与所述分束镜之间，所述第一聚焦透镜用于对所述第二偏振光进行聚焦后输入所述第一端口；

所述第二聚焦透镜设置于所述保偏光纤耦合器的第二端口与所述平面反射镜之间，所述第二聚焦透镜用于对所述第二端口输出的参考光进行聚焦后输出至所述平面反射镜；

所述平面反射镜用于反射所述参考光并将所形成的反射光束作为干涉参考光反向输入至所述第二端口；

所述保偏光纤耦合器的第三端口用于输出探测光至所述等离位相传感器，并接收所述干涉探测光；

所述保偏光纤耦合器的第四端口用于输出所述干涉探测光及所述干涉参考光至所述光声波检测组件；

所述保偏光纤耦合器的本体与所述第一端口、所述第二端口、所述第三端口及所述第四端口之间均采用光纤连接。