[发明专利]一种半导体制程管路清洗装置管路结构

说明书

本发明涉及一种半导体制程管路清洗装置管路结构，它包括水槽以及与所述水槽连通的至少三个管路，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接，所述水槽内还设置有加热器。通过将水槽与至少三个管路相连通，并将抽水管路分为与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路，从而保证清洗、通气的要求。

技术领域

本发明属于管路清洗设备领域，具体来说，是一种半导体制程管路清洗装置管路结构。

背景技术

随着机电行业的迅猛发展，各式各样的机电产品总量急剧增加。同时，机电产品内设置有各式各样的管路，包括输油管路、排气管路等，长期使用后管道壁将会产生油垢和污垢积累。因此，机电设备内部的管道必须定期维护、检测、清洗，否则大量污垢的积累，在一定条件下，极易酿成设备停转、短路造成安全事故。半导体制程管路的要求更为严格。现有的半导体制程管路清洗装置管路结构简单而难以满足半导体制程管路清洗的要求。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的是提供一种半导体制程管路清洗装置管路结构。

为达到上述目的，本发明提供一种半导体制程管路清洗装置管路结构，它包括水槽以及与所述水槽连通的至少三个管路，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接，所述水槽内还设置有加热器。

优化地，所述水槽与六个管路连通，包括药液补充管路、纯水补充管路、回水管路、排气管路、第一抽水管路和第二抽水管路，所述第一抽水管路与抽水组件连接，所述第二抽水管路与废液排水管连接，所述第二抽水管路上设置有控制其通断的废水管路电磁阀。

进一步地，所述抽水组件包括与所述抽水管路的第一支路连接的抽水马达、控制所述抽水管路内部压强变化的鼓风机和循环泵。

优化地，所述水槽为PP水槽。

由于采用上述技术方案，本发明达到以下有益效果：本发明半导体制程管路清洗装置管路结构，通过将水槽与至少三个管路相连通，并将抽水管路分为与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路，从而保证清洗、通气的要求。

附图说明

图1为本发明的俯视图；

图2为本发明的左视图；

图3为本发明的右视图。

图中标记说明如下：

1-第一推车把手；2-第二推车把手；3-拖拉式拦网；4-PP水槽；5-载重轮；6-纯水补充口；7-酸碱值侦测器；8-液位感应器；9-防漏托盘；10-废液排水口；11-抽水马达；12-鼓风机；14-触控屏；15-出水口；16-药液补充口；17-排水口；18-回水口；19-EMO紧急停止按钮；20-CDA/N2接口；21-回水电磁阀；22-抽水电磁阀；23-废水管路电磁阀；24-鼓风机出口阀。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明，以使本发明的优点和特征能更易于本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围作出更为清楚准确的界定。

参照图1至图3，本申请半导体制程管路清洗装置管路结构，它包括水槽以及与所述水槽连通的至少三个管路，所述至少三个管路包括进水管路、抽水管路和回水管路，所述抽水管路分设有与被清洗管路连接的第一支路和与废液排水管连接的第二支路；所述抽水管路设置有气体腔室通过进气电磁阀与外部气源连接，所述水槽内还设置有加热器。