[发明专利]一种旋转钛靶及其制备方法

权利要求书

1.一种旋转钛靶的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制备平均粒径D50为45-55μm的钛粉；

(2)对靶材基管进行表面处理；

(3)冷喷涂：将表面处理后的靶材基管安装在传动设备上，使靶材基管绕其中心轴转动，喷枪沿靶材基管的水平方向相对往返移动，启动冷却装置后，将钛粉通过喷枪冷喷涂到靶材基管表面，沉积形成涂层，得到靶材；

所述步骤(2)中，表面处理包括喷砂处理和打底处理；打底处理所用的原料为铜镍丝，打底处理方式为电弧喷涂；

所述步骤(3)中，靶材基管的转速为150-180r/min；喷枪的移动速度为20-30mm/s；喷涂距离为30-40mm；载气压力为5-6MPa；主气压力为5.5-6MPa；主气加热温度为860～890℃；

所述步骤(1)中，钛粉的纯度≥99.95％。

2.根据权利要求1所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，喷砂处理所用的磨料为白刚玉、钢丝切丸或铸钢砂。

3.根据权利要求2所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，喷砂处理所用的磨料为铸钢砂。

4.根据权利要求1所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，打底处理后靶材基管的表面粗糙度Ra为260-350μm。

5.根据权利要求1-4任一项所述的旋转钛靶的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)中，冷喷涂的主气及载气为氮气或惰性气体。

6.根据权利要求1-5任一项所述方法制备得到的旋转钛靶，其特征在于，所述旋转钛靶的氧含量≤1000ppm，晶粒尺寸≤40μm。

7.一种根据权利要求6所述旋转钛靶的修复方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制备平均粒径D50为30-80μm的钛粉；

(2)对残靶进行表面处理；

(3)冷喷涂：将表面处理后的残靶安装在传动设备上，使残靶绕其中心轴转动，喷枪沿残靶的水平方向相对往返移动，启动冷却装置后，将钛粉通过喷枪冷喷涂到残靶表面，沉积形成涂层，得到修复后的靶材，

其中，残靶的转速为120-200r/min；

喷枪的移动速度为20-40mm/s；

冷喷涂的工艺参数为：主气压力为4-8Mpa，载气压力为4.5-8.5Mpa，主气加热温度为500-1000℃，喷涂距离为10-80mm，主气及载气为氮气或惰性气体。

8.根据权利要求7所述的修复方法，其特征在于，所述步骤(3)中，残靶的转速为150-180r/min，喷枪的移动速度为20-30mm/s。