[发明专利]一种钛铝合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤，

混粉步骤，选用钛粉和铝粉，将钛粉和铝粉按设定比例称量后混合，形成混合粉末；

灌装步骤，将混合粉末装入冷等静压包套后，对冷等静压包套进行密封；

冷等静压步骤，将密封后的冷等静压包套放入冷等静压设备，对混合粉末进行冷等静压，使混合粉末的压实密度达到60至70%，形成钛铝混粉粉坯；

焊接包套脱气步骤，将钛铝混粉粉坯装入热等静压包套，在热等静压包套焊接抽气管，使抽气管与热等静压包套内部连通，对热等静压包套内进行抽真空，在抽真空后对热等静压包套进行密封；

热等静压步骤，对脱气后的热等静压包套内的钛铝混粉粉坯进行热等静压，将钛铝混粉粉坯的温度设置在250至450℃，热等静压的温度达到铝粉的软化点，铝粉将钛粉进行粘结，形成热等静压品；

合金化扩散热处理步骤，将热等静压品的温度设置在400至550℃放置4至8小时，形成钛铝混粉合金扩散品，将钛铝混粉合金扩散品进行水冷，使钛铝混粉合金扩散品冷却至室温；

机加工修整步骤，将冷却后的钛铝混粉合金扩散品进行机加工，对冷却后的钛铝混粉合金扩散品加工至规则性质的机加工成品。

2.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述钛粉和所述铝粉的粒度分别设置在10至50μm，钛粉和铝粉的纯度分别设置在99%以上，钛粉和铝粉的氧含量分别低于1000ppm，钛和铝的原子百分比的含量分别设置在25%至75%。

3.根据权利要求2所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：在所述混粉步骤中，将所述钛粉和所述铝粉放入球磨机中混合4至16小时，形成所述混合粉末。

4.根据权利于要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：在所述冷等静压步骤中，将所述冷等静压设备中的压力设置在130至180MPa，保持至少300秒后去除压力。

5.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：在所述焊接包套脱气步骤中，对所述热等静压包套进行抽真空，将热等静压包套内的真空度设置在10E-4Pa，使所述钛铝混粉粉坯与热等静压包套之间的间隙小于1mm。

6.根据权利要求5所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：在所述焊接包套脱气步骤和所述热等静压步骤中，所述热等静压包套选用低碳钢或铝合金制作。

7.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法， 其特征在于：在所述焊接包套脱气步骤中，对所述热等静压包套内进行抽真空后，对热等静压包套进行焊接密封，以氦气检漏仪进行检漏，使漏气率低于5E-12Pa•m3/s。

8.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：在所述热等静压步骤中，将所述钛铝混粉粉坯放置于热等静压设备中，热等静压设备的压力值设置在120至170MPa，保持2至4小时。

9.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：在所述热等静压步骤和所述合金化扩散热处理步骤之间设置有分切步骤，对所述热等静压品按照产品规格进行分切。

10.根据权利要求9所述的一种钛铝合金靶材的制备方法， 其特征在于：在所述分切步骤中，所述热等静压品分切后的厚度设置在70mm以下。