[发明专利]一种高效散热绝缘衬板在审
| 申请号： | 202010026532.8 | 申请日： | 2020-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111223838A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 吴义伯;时海定;常桂钦;徐凝华;方杰;童颜;王玉麒;彭勇殿;罗海辉 | 申请（专利权）人： | 株洲中车时代半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/498 | 分类号： | H01L23/498;H01L23/367;H01L23/373;H01L23/473 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;何娇 |
| 地址： | 412001 湖南省株洲市石峰*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 散热 绝缘 | ||
1.一种高效散热绝缘衬板，包括依次层叠设置的上金属层、陶瓷层和下金属层，其特征在于，所述陶瓷层内设置有流道结构，所述流道结构布满半导体芯片的发热区域。
2.根据权利要求1所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述下金属层为散热密封层，形成散热通道，并对所述流道结构进行密封。
3.根据权利要求1所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述陶瓷层材料为氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述陶瓷层与其内部的所述流道结构为一体成型结构。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述流道结构为直接液冷流道。
6.根据权利要求5所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述直接液冷流道呈“S”型蜿蜒分布。
7.根据权利要求6所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述直接液冷流道的横截面尺寸为0.1mm～3mm之间。
8.根据权利要求1-4中任一项所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述流道结构为针翅液冷流道。
9.根据权利要求8所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述针翅液冷流道中针翅的横截面尺寸为0.1mm～5mm，高度为0.1mm～5mm，所述针翅与针翅之间的间距为0.1mm～10mm。
10.根据权利要求9所述的高效散热绝缘衬板，其特征在于，所述针翅的横截面的形状为圆形、椭圆形或多边形中的一种，其中，所述多边形的边数N≥3。
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