[发明专利]三维量测装置与其操作方法有效
| 申请号: | 202010022455.9 | 申请日: | 2020-01-09 |
| 公开(公告)号: | CN112525078B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
| 发明(设计)人: | 卓嘉弘;张柏毅;顾逸霞;庄凯评;刘志祥;杨富程 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/24 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
| 地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 三维 装置 与其 操作方法 | ||
1.一种三维量测装置,其特征在于,包括:
一移动装置,承载一物体,并将该物体移动至多个位置;
一投影装置,产生一第一光至该物体;
一面型取像装置,于每一所述位置上,感测该物体因应于该第一光而产生的一第二光,以产生一相位影像;以及
一处理装置,耦接该面型取像装置,接收该些相位影像,并将该些相位影像进行一感兴趣区域处理,以产生多个感兴趣区域影像,且将该些感兴趣区域影像透过一多步相位移法处理,以计算该物体的一表面高度分布;
其中,该处理装置透过该感兴趣区域处理,将该些相位影像中对应多个角度的相位角的影像撷取出来,以取得对应各个角度的该些相位影像,并将对应各个角度的该些相位影像依序排列,以产生对应各个角度的该些感兴趣区域影像。
2.根据权利要求1所述的三维量测装置,其特征在于,该第一光的角度与该第二光的角度相等,该第一光为一入射光,该第二光为一反射光。
3.根据权利要求1所述的三维量测装置,其特征在于,该第一光的角度与该第二光的角度不相等,该第一光为一入射光,该第二光为一散射光。
4.根据权利要求1所述的三维量测装置,其特征在于,该移动装置每次移动该物体的一距离关联于该面型取像装置的一像素尺寸与一镜头放大倍率。
5.根据权利要求1所述的三维量测装置,其特征在于,该些相位影像的数量与该物体的尺寸相关联。
6.一种三维量测装置,其特征在于,包括:
一移动装置,承载一物体,并将物体移动至多个位置;
一投影装置,依据一调光条件,产生一第一光至该物体;
一线型取像装置,于每一所述位置上,感测该物体因应于该第一光而产生的一第二光,以产生一相位影像;以及
一处理装置,耦接该线型取像装置,接收该些相位影像,并将该些相位影像进行一感兴趣区域处理,以产生多个感兴趣区域影像,且将该些感兴趣区域影像透过一多步相位移法处理,以计算该物体的一表面高度分布;
其中,该调光条件依据该线型取像装置的一像素尺寸、该线型取像装置的一像素间距、该线型取像装置的一镜头放大倍率、该投影装置的一镜头放大倍率与该第一光和该第二光之间的夹角进行调整;
其中,该处理装置透过该感兴趣区域处理,将该些相位影像中对应多个角度的相位角的影像撷取出来,以取得对应各个角度的该些相位影像,并将对应各个角度的该些相位影像依序排列,以产生对应各个角度的该些感兴趣区域影像。
7.根据权利要求6所述的三维量测装置,其特征在于,该第一光的角度与该第二光的角度相等,该第一光为一入射光,该第二光为一反射光。
8.根据权利要求6所述的三维量测装置,其特征在于,该第一光的角度与该第二光的角度不相等,该第一光为一入射光,该第二光为一散射光。
9.根据权利要求6所述的三维量测装置,其特征在于,该移动装置每次移动该物体的一距离关联于该线型取像装置的该像素尺寸与该镜头放大倍率。
10.根据权利要求6所述的三维量测装置,其特征在于,该些相位影像的数量与该物体的尺寸相关联。
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