[发明专利]一种光源引导下的超高密度空间互连引线的加工方法有效

专利信息
申请号: 202010018794.X 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN111048430B 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 陈云;丁树权;贺云波;侯茂祥;陈新;高健;赵铌;张揽宇;汪正平 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: H01L21/603 分类号: H01L21/603;H01L21/48
代理公司: 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 代理人: 刘羽波;朱培祺
地址: 510006 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 光源 引导 超高 密度 空间 互连 引线 加工 方法
【权利要求书】:

1.一种光源引导下的超高密度空间互连引线的加工方法,其特征在于:包括如下步骤:

步骤S1:调配光热响应导电浆料,并放入气压注射器中;

步骤S2:驱动气压注射器,使气压注射器上的微喷嘴对准第一芯片焊盘的中心位置,气压注射器将光热响应导电浆料挤出,使光热响应导电浆料与第一芯片相连,形成互连引线;

步骤S3:气压注射器停止挤出光热响应导电浆料,并驱动气压注射器拉断互连引线;

步骤S4:线光源发出光线,照射在互连引线上,使互连引线的自由端弯曲,并弯曲至第二芯片焊盘的上方;

步骤S5:挤压机构将互连引线的自由端压在第二芯片焊盘上,使互连引线连接第一芯片和第二芯片;

步骤S6:第一芯片和第二芯片完成连接后,对第一芯片和第二芯片进行滴胶封装。

2.根据权利要求1所述的光源引导下的超高密度空间互连引线的加工方法,其特征在于:所述光热响应导电浆料包括以下重量份的组分:

N-异丙基丙烯酰胺 40~50份;

N,N’-亚甲基双丙烯酰胺 5份;

2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮 0.5份;

还原石墨烯 0.3份;

共晶镓铟合金 10份;

二甲基亚砜 余量;

所述共晶镓铟合金的纯度为99.99%。

3.根据权利要求2所述的光源引导下的超高密度空间互连引线的加工方法,其特征在于:所述光热响应导电浆料制备方法包括以下步骤:

步骤A1:按照配比将N-异丙基丙烯酰胺、N,N’-亚甲基双丙烯酰胺和2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮置于二甲基亚砜中超声分散5min,得到前驱体溶液;

步骤A2:按照配比将还原石墨烯和共晶镓铟合金添加到前驱体溶液中,再在真空环境下超声分散10min;所述共晶镓铟合金的纯度为99.99%;

步骤A3:将步骤A2所述的溶液放在紫外光发生器中反应2min,得到所述光热响应导电浆料。

4.根据权利要求2所述的光源引导下的超高密度空间互连引线的加工方法,其特征在于:所述线光源与连续激光发生器连接,所述连续激光发生器发出的光线波长为532nm。

5.根据权利要求1所述的光源引导下的超高密度空间互连引线的加工方法,其特征在于:所述光热响应导电浆料包括以下重量份的组分:

3-(4-((4-甲氧基苯基)二氮基)苯氧基)丙烯酸丙酯 9份;

二氮基-1,2-二(4,1-苯基)二丙烯酸酯 1份;

偶氮二异丁腈 1.2~1.8份;

共晶镓铟合金 2份;

四氢呋喃 余量;

所述共晶镓铟合金的纯度为99.99%。

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