[发明专利]显示面板及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010018649.1 申请日: 2020-01-08
公开(公告)号: CN111192906A 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 赵恒 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 刁文魁
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 显示 面板 及其 制备 方法
【说明书】:

本申请公开了一种显示面板及其制备方法。该显示面板包括功能区,该方法包括:在衬底上制备阵列功能层;在该阵列功能层上制备封装层;对该封装层和该阵列功能层的该功能区进行刻蚀,形成一凹槽。本申请实施例通过采用蚀刻的方式除去功能区内的多层级,由于该蚀刻方式相较于传统的切割工艺更加温和,不易对无机材料层产生裂纹,因此有效的防止了水氧对面板内部元器件的损害,从而提高了显示面板的良品率,节约成本。

技术领域

本申请涉及显示技术领域,尤其涉及显示面板及其制备方法。

背景技术

随着信息传输技术与电子产品的发展,有机电致发光二极管(OLED)显示器得到越来越广泛的应用,因为其优点突出,包括亮度高,响应快,能耗低,成本低等。目前全面屏为一大发展趋势,为实现更高的屏占比,目前的方案有刘海屏、水滴屏、挖孔屏、升降式摄像头乃至屏下摄像头;其中挖孔屏以其开孔小,摄像头与屏幕一体性好的优势,使得屏幕看起来更为完整,视觉冲击感更强,是一种广泛应用的全面屏方案。

但是传统的屏幕挖孔方式采用一种切割的方法,在切割工段过程中,容易会产生裂纹,使得水汽和氧气则会透过裂纹渗透到器件内部,对发光材料造成侵蚀,使显示屏寿命下降。

发明内容

本申请实施例提供一种显示面板的制备方法,通过采用蚀刻的方式除去功能区内的多层级,由于该蚀刻方式相较于传统的切割工艺更加温和,不易对无机材料层产生裂纹,因此有效的防止了水氧对面板内部元器件的损害,从而提高了显示面板的良品率,节约成本。

第一方面,本申请实施例提供一种显示面板的制备方法,所述显示面板包括功能区,所述方法包括:

在衬底上制备阵列功能层;

在所述阵列功能层上制备封装层;

对所述封装层和所述阵列功能层的所述功能区进行刻蚀,形成一凹槽。

在一些实施例中,所述对所述封装层和所述阵列功能层的所述功能区进行刻蚀,包括:

对所述封装层和所述阵列功能层进行干法蚀刻。

在一些实施例中,所述对所述封装层和所述阵列功能层进行干法蚀刻,包括:

通过掩膜版覆盖所述封装层,其中,所述掩膜版对应所述功能区的位置镂空。

在一些实施例中,所述对所述封装层和所述阵列功能层进行干法蚀刻,包括:

通过氟化物气体对所述封装层和所述阵列功能层进行干法蚀刻。

在一些实施例中,所述对所述封装层和所述阵列功能层的所述功能区进行刻蚀,形成一凹槽,之后,所述方法还包括:

采用有机层对所述凹槽进行填充。

在一些实施例中,在采用有机层对所述凹槽进行填充,之后,所述方法还包括:

沿所述凹槽的延伸方向,切割所述有机层和所述衬底。

在一些实施例中,所述切割所述有机层和所述衬底,包括:

采用激光切割方法,切除所述有机层和所述衬底。

第二方面,本申请实施例提供一种显示面板,所述显示面板包括功能区,所述显示面板还包括衬底、阵列功能层、和封装层,在所述功能区形成有凹槽,所述凹槽采用如第一方面所述的方法制备而成。

在一些实施例中,所述封装层为两层层叠结构。

在一些实施例中,所述封装层为氮化硅、氧化硅和氮氧化硅中的一种或多种。

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