[发明专利]一种电子级气体的吸附脱水剂及其制备方法

权利要求书

1.一种电子级气体的吸附脱水剂的应用，其特征在于：吸附脱水剂包括离子改性纳米沸石分子筛，以重量份数计，所述离子改性纳米沸石分子筛包括以下组分：1-10份金属阳离子，90-99份纳米沸石分子筛载体；所述金属阳离子为Li⁺、Na⁺、K⁺、Cs⁺、La³⁺、Cu²⁺和Mg²⁺中的一种或几种；所述离子改性纳米沸石分子筛为离子交换改性纳米沸石分子筛或浸渍改性纳米沸石分子筛；所述纳米沸石分子筛载体为纳米ZSM-5分子筛、纳米β分子筛、纳米Y分子筛的一种或几种；纳米ZSM-5分子筛为低硅铝比纳米ZSM-5分子筛，所述低硅铝比纳米ZSM-5分子筛的晶粒度为20-50 nm，硅铝比为20-60；纳米β分子筛为低硅铝比纳米β分子筛，低硅铝比纳米β分子筛的晶粒度为20-50 nm，硅铝比为5-30；纳米Y分子筛的晶粒度为100-300 nm，硅铝比为5-60；所述吸附脱水剂应用于HBr或HF粗品中的水去除。

2.如权利要求1所述的一种电子级气体的吸附脱水剂的应用，其特征在于：所述电子级气体的吸附脱水剂还包括沸石分子筛粘结剂，以重量份数计，所述沸石分子筛粘结剂为5-40份。

3.一种权利要求1所述的电子级气体的吸附脱水剂的应用，其特征在于：所述吸附脱水剂的制备方法包括如下步骤：

A. 将纳米沸石分子筛载体进行金属盐的离子交换，经洗涤、分离得到离子交换改性纳米沸石分子筛前驱体；或将纳米沸石分子筛载体进行金属盐的浸渍，经分离得到浸渍改性纳米沸石分子筛前驱体；

B. 将离子交换改性纳米沸石分子筛前驱体或浸渍改性纳米沸石分子筛前驱体干燥、焙烧得到电子级气体的吸附脱水剂。

4.如权利要求3所述的吸附脱水剂的应用，其特征在于：步骤A 中离子交换时，金属盐的浓度为0.01-10.0 mol/L；金属盐的重量与纳米沸石分子筛载体的重量比为10:1-1:1；浸渍时，金属盐溶液浓度为0.01-5.0 mol/L，金属盐溶液与纳米沸石分子筛的重量比为5:1。

5.如权利要求3所述的吸附脱水剂的应用，其特征在于：步骤A中离子交换时，离子交换时间为2-24小时，离子交换温度为40-80℃；浸渍时，浸渍时间为1-10小时，浸渍温度为60-90℃。

6.如权利要求3所述的吸附脱水剂的应用，其特征在于：所述步骤A中还包括将离子交换改性纳米沸石分子筛前驱体或浸渍改性纳米沸石分子筛前驱体通过挤条或喷雾成型；或将纳米沸石分子筛载体先用粘结剂成型，再进行离子交换或浸渍。

7.如权利要求1所述的吸附脱水剂的应用，其特征在于：所述HBr或HF粗品进料质量空速为0.1-50.0 h^-1，吸附温度为-50-200℃，吸附压力为0.1-5.0MPa。

8.一种如权利要求1所述的电子级气体的吸附脱水剂的应用，其特征在于：所述吸附脱水剂的再生方法包括：在高纯氮气气氛下将吸附水后的吸附脱水剂进行再生，再生温度为300-600℃，再生时间1-48小时。