[发明专利]一种图像检测装置及其检测方法有效

专利信息
申请号: 202010014919.1 申请日: 2020-01-07
公开(公告)号: CN111141745B 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 张冲;洪志坤;欧昌东;郑增强 申请(专利权)人: 武汉精立电子技术有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88;G01N21/01
代理公司: 武汉东喻专利代理事务所(普通合伙) 42224 代理人: 李佑宏
地址: 430205 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 图像 检测 装置 及其 方法
【说明书】:

发明公开了一种图像检测装置及其检测方法,其通过放置第一光学元件、第二光学元件、第三光学元件和第四光学元件,第一光学元件组包括一个第一光学元件和至少一个第二光学元件,第一光学元件用于反射第一色光并透射第二色光;第二光学元件组包括一个第三光学元件和至少一个第四光学元件,第三光学元件用于反射第二色光并透射第一色光,以使得可透光的待检测对象的表层线扫点的散色光经过第一光学元件组的反射后进入彩色线扫相机的光程,与该表层线扫点的散色光经过第二光学元件组的反射后进入彩色线扫相机的光程相同,从而通过第一色光和第二色光的缺陷位置是否重合判断缺陷处于表面还是内层。

技术领域

本发明属于图像检测领域,具体涉及一种图像检测装置及其检测方法。

背景技术

对于检查对象的工件表面,同时驱动同轴反射照明用的照明部和斜入射照明用的照明部,并在该照明下用照相机进行拍摄。在照明部中分别设置有发出各色彩光的光源,并且,在照明部仅点亮这些三种光源中的一种,而在照明部点亮在照明部没有点亮的一种或两种光源,通过一次拍摄就能够检测出成形体表面的凹凸缺陷以及色彩缺陷。

以检测对象为液晶屏面板为示例,当前的面板行业的发展中,面板的缺陷包含表面缺陷和内部缺陷。这些缺陷包括划伤,异物,毛屑,刮伤,赃物等。缺陷的存在使得工厂产品的生产良率降低。有效的缺陷检测方法能否拦截残次品,使得客户的出货品质提升。在这些检测需求中,有一类检测需求,不仅需要检测出缺陷,还需要对缺陷所在的层次进行判别。例如一般的显示面板,最上面一层一般是保护玻璃盖板。由于玻璃盖板可更换或者清洁,而玻璃盖板下面处理成本较大,所以不同层次的缺陷需要区分对待。区分处理的前提即为通过成像的方式将缺陷所在层次识别出来。

在平板外观缺陷自动化检测领域,通常无法有效区分缺陷位于面板内部还是外部。比如盖板玻璃(CG玻璃)需要贴合在上偏光片或屏幕之上,在CG玻璃与偏光片之间容易夹入了灰尘(particle),当灰尘为微米级别时,造成CG玻璃与上偏光片之间形成贴合异物缺陷,这种贴合异物缺陷会导致次品产生。而外部有些缺陷(比如灰尘、脏污等)可以通过清洁去掉,并不影响品质,从而造成对良品的误判,现有的面板检测通常是通过亮场(α=β)或暗场(α≠β)进行检测表面缺陷检测,在该检测方式下,面板表面上缺陷和面板内的缺陷无法有效区分。

发明内容

针对现有技术的以上缺陷或改进需求,本发明提供了一种图像检测装置及其检测方法,其通过放置第一光学元件、第二光学元件、第三光学元件和第四光学元件,以使得可透光的待检测对象的表层线扫点的散色光经过第一光学元件组的反射后进入彩色线扫相机的光程,与该表层线扫点的散色光经过第二光学元件镜组的反射后进入彩色线扫相机的光程相同,从而通过第一色光和第二色光的缺陷位置是否重合判断缺陷处于表面还是内层。

为实现上述目的,按照本发明的一个方面,提供了一种图像检测装置,该装置包括彩色线扫相机、光源、第一光学元件组和第二光学元件组,彩色线扫相机用于获取第一色光的线扫图像和第二色光的线扫图像,

第一光学元件组包括一个第一光学元件和至少一个第二光学元件,第一光学元件用于反射第一色光并透射第二色光,第二光学元件用于反射第一色光;第二光学元件组包括一个第三光学元件和至少一个第四光学元件,第三光学元件用于反射第二色光并透射第一色光,第四光学元件用于反射第二色光;

通过放置第一光学元件、第二光学元件、第三光学元件和第四光学元件,以使得可透光的待检测对象的表层线扫点的散色光经过第一光学元件组的反射后进入彩色线扫相机的第一光程,与表层线扫点的散色光经过第二光学元件组的反射后进入彩色线扫相机的第二光程相同。

作为本发明的进一步改进,第一色光为R、G、B三色光中的一种,第二色光为R、G、B三色光中的另一种。

作为本发明的进一步改进,彩色线扫相机包括第一传感器和第二传感器,第一传感器用于感知第一色光,第二传感器用于感知第二色光。

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