[发明专利]一种气体管道的测试设备在审

专利信息
申请号: 202010010304.1 申请日: 2020-01-06
公开(公告)号: CN111024322A 公开(公告)日: 2020-04-17
发明(设计)人: 刘洋 申请(专利权)人: 上海正帆科技股份有限公司;江苏正帆半导体设备有限公司
主分类号: G01M3/22 分类号: G01M3/22;G01N33/00;G01N15/06
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201108 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 气体 管道 测试 设备
【权利要求书】:

1.一种气体管道的测试设备,其特征在于,用于对至少两个气体管道的测试,包括并联连接的:

抽真空单元(1),包括并列设置的多个第一通路(11),每个所述第一通路(11)与对应的一个所述气体管道连接,用于相应所述气体管道的抽真空;

保压单元(2),包括并列设置的多个第二通路(21),每个所述第二通路(21)与对应的一个所述气体管道连接,用于相应所述气体管道的保压;

检测单元(3),用于相应所述气体管道的气密性检测及水分、氧分及颗粒的检测;

充气单元(4),包括并列设置的多个第三通路(41),每个所述第三通路(41)与对应的一个所述气体管道连接,用于向相应所述气体管道内充气。

2.如权利要求1所述的气体管道的测试设备,其特征在于,

所述第一通路(11)上设置有第一控制组件,所述第一控制组件用于控制所述抽真空单元(1)与相应所述气体管道的通断;

所述第二通路(21)上设置有第二控制组件(22),所述第二控制组件(22)用于控制所述保压单元(2)与相应所述气体管道的通断;

所述检测单元(3)包括第三控制组件,所述第三控制组件用于控制所述检测单元(3)与相应多个所述气体管道的通断;

所述第三通路(41)上设置有第四控制组件,所述第四控制组件用于控制所述充气单元(4)与相应所述气体管道的通断。

3.如权利要求2所述的气体管道的测试设备,其特征在于,所述抽真空单元(1)包括串联连接的真空泵(13)和真空罐(14),所述真空罐(14)与多个并联的所述第一通路(11)连接,所述第一控制组件包括设置在各个所述第一通路(11)上的抽真空控制阀(12)。

4.如权利要求1所述的气体管道的测试设备,其特征在于,所述气体管道的测试设备还包括多个压力传感器(5),每个所述压力传感器(5)与一个所述气体管道连接并能选择性地检测与所述气体管道连通的所述第一通路(11)、所述第二通路(21)、检测单元(3)或所述第三通路(41)上的压力。

5.如权利要求1所述的气体管道的测试设备,其特征在于,所述检测单元(3)包括气密性检测组件(31),所述气密性检测组件(31)用于对抽真空后的所述气体管道进行气密性检测。

6.如权利要求5所述的气体管道的测试设备,其特征在于,所述气密性检测组件(31)包括排放阀(312)、与所述排放阀(312)的入口连接且并列设置的多个第四通路(311)、与所述排放阀(312)的出口连接的氦检仪以及每个所述第四通路(311)上均设置的气密控制阀(313)。

7.如权利要求1所述的气体管道的测试设备,其特征在于,所述充气单元(4)包括串联连接的气源、缓冲罐(44)和纯化器(43),多个所述第三通路(41)均与所述纯化器(43)连接,每个所述第三通路(41)上均设有充气控制阀(42)。

8.如权利要求1所述的气体管道的测试设备,其特征在于,所述气体管道的测试设备还包括控制组件,所述控制组件用于控制所述抽真空单元(1)、所述充气单元(4)和所述检测单元(3)的启闭,并记录启闭的次数和所述检测单元(3)的检测结果。

9.如权利要求1所述的气体管道的测试设备,其特征在于,检测单元(3)包括并列连接的:

水分检测组件(32),通过对抽真空后的所述气体管道进行充气吹扫,检测所述气体管道的吹扫气体的水分含量;

氧分检测组件(33),通过对抽真空后的所述气体管道进行充气吹扫,检测所述气体管道的吹扫气体的氧分含量;

颗粒检测组件(34),通过对抽真空后的所述气体管道进行充气吹扫,检测所述气体管道的吹扫气体的颗粒含量。

10.如权利要求9所述的气体管道的测试设备,其特征在于,所述水分检测组件(32)、所述氧分检测组件(33)和所述颗粒检测组件(34)上均并列设置有多个第五通路(35),每个所述第五通路(35)上设置有水氧颗粒控制阀(36);每个所述第五通路(35)均连接有并联设置的:

水分通路(321),所述水分通路(321)上设置有水分检测控制阀(322)和水分分析仪;

氧分通路(331),所述氧分通路(331)上设置有氧分检测控制阀(332)和氧分分析仪;

颗粒通路(341),所述颗粒通路(341)上设置有颗粒检测控制阀(342)和颗粒分析仪。

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