[发明专利]窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统有效
| 申请号： | 202010002528.8 | 申请日： | 2020-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN111141385B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 陈沁;文龙;南向红 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/18;G01J3/12;G01J3/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 李君 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 窄带 透射 滤波器 上光 谱分析 成像 系统 | ||
1.一种窄带透射滤波器，其特征在于，包括基底，所述基底表面形成光栅结构，所述光栅结构上沉积金属/类金属膜；或所述基底表面沉积金属/类金属膜，所述金属/类金属膜上形成光栅结构；或所述基底表面依次沉积金属/类金属膜、非金属材料层，所述非金属材料层上形成光栅结构；
所述金属/类金属膜是连续的金属/类金属膜；通过改变基底材料、金属/类金属材料和光栅结构来调节带通中心波长；通过改变光栅结构的周期，实现一个超宽工作波长范围内不同带通中心波长的滤波器阵列。
2.根据权利要求1所述的窄带透射滤波器，其特征在于，所述滤波器制备在透明基底上，并排列成与探测器阵列的探测器单元一一对应的阵列，所述光栅结构面向探测器单元表面对准封装。
3.根据权利要求1所述的窄带透射滤波器，其特征在于，所述基底采用在探测器阵列的探测器单元的表面层上形成的介质层。
4.根据权利要求1所述的窄带透射滤波器，其特征在于，所述基底采用探测器阵列的探测器单元的有源层，所述滤波器形成肖特基二极管。
5.根据权利要求1所述的窄带透射滤波器，其特征在于，所述光栅结构的边缘设有金属反射镜。
6.根据权利要求1所述的窄带透射滤波器，其特征在于，所述光栅结构的周期为滤波器带通中心波长的0.5倍～2倍，光栅结构的光栅高度小于滤波器带通中心波长的1/20。
7.根据权利要求1所述的窄带透射滤波器，其特征在于，所述金属/类金属膜的厚度为10纳米～50纳米。
8.一种片上光谱分析与成像系统，其特征在于，包括滤波器阵列和探测器阵列，所述滤波器阵列由多个不同带通中心波长的滤波器单元构成，每个滤波器单元采用权利要求1-7任一项所述的窄带透射滤波器，滤波器阵列的滤波器单元和探测器阵列的探测器单元一一对应组合，构成片上光谱分析与成像系统；被测光准直后照射到该片上光谱分析与成像系统，提取探测器阵列中每个探测器单元的信号，从而获得光谱与图像信息。
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