[发明专利]激光探测及测距（LiDAR）装置等

权利要求书

1.一种用于可控制光束的天线或天线阵列，所述天线阵列包括多个线性天线阵列(100)；其特征在于，每个线性天线阵列包括：

多个天线元件(104)；

支撑具有长度和厚度的天线元件的波导(102)；以及

与所述波导相邻的控制元件(400、402、404)，其被设置为引起沿着波导的长度的至少一部分和波导的厚度的至少一部分的折射率的变化；

其中波导中的折射率的变化引起经由多个天线元件中的每个天线元件发射的光的相移。

2.根据权利要求1所述的天线或天线阵列，其特征在于，所述折射率的变化在波导的线性区域(108)中引起。

3.根据权利要求2所述的天线或天线阵列，其特征在于，所述线性区域沿着波导的长度方向定位。

4.根据权利要求2或3所述的天线或天线阵列，其特征在于，所述限定的线性区域在波导的下部分中。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的天线或天线阵列，其特征在于，所述折射率的变化通过从所述控制元件向波导的所述部分施加电压或热来引起。

6.根据权利要求5所述的天线或天线阵列，其特征在于，热通过与波导的所述部分并置的加热器元件施加。

7.根据权利要求5或6所述的天线或天线阵列，其特征在于，存在两个加热元件(404)，一个在波导的所述部分的一侧。

8.根据权利要求5所述的天线或天线阵列，其特征在于，电压通过位于波导的所述部分的每一侧上的一对掺杂区域(400、402)施加。

9.根据任一项前述权利要求所述的天线或天线阵列，其特征在于，所述控制元件限定波导中的第一纵向移相器(110)。

10.根据任一项前述权利要求所述的天线或天线阵列，其特征在于，还包括：横向移相器(200)位于波导的端部。

11.根据任一项前述权利要求所述的天线或天线阵列，其特征在于，由天线阵列发射的光可通过第一移相器和第二移相器中的至少一个在一个或多个方向上控制。

12.根据任一项前述权利要求所述的天线或天线阵列，其特征在于，由天线阵列发射的光可通过调谐阵列中相邻天线元件之间的相移来控制。

13.根据任一项前述权利要求所述的天线或天线阵列，其特征在于，通过在相应的各自的正交方向上引起折射率的变化，单个控制信号施加在各自的正交方向上。

14.根据任一项前述权利要求所述的天线或天线阵列，其特征在于，所述波导由低损耗材料制成，例如硅(Si)或氮化硅(SiN)。

15.根据任一项前述权利要求所述的天线或天线阵列，其特征在于，所述天线元件由氮化硅(SiN)、二氧化硅(SiO₂)和氮化铝(AlN)中的一种制成。

16.根据任一项前述权利要求所述的天线或天线阵列，其特征在于，与光功率分配器组合以允许光进入阵列。

17.一种制造天线或天线阵列的方法，其特征在于，包括：

由第一材料(512)形成第一波导；

由第二材料形成多个天线元件(512)；

在波导的一个部分的附近形成至少一个或多个附加元件(516、518、520)，被设置为引起沿着波导的长度的至少一部分和波导的厚度的至少一部分的折射率的变化；以及

形成至少一层介电材料(504)。