[发明专利]使用光纤将光输送到真空腔室中

权利要求书

1.一种设备，其包括：

真空腔室；

载台，其安置于所述真空腔室中，经配置以对晶片进行紧固；

激光光源，其安置于所述真空腔室外部；

光纤，其将由所述激光光源产生的所有波长的光穿过所述真空腔室的壁传输到所述真空腔室中；及

消色差与偏振单元。

2.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括将电子束引导于所述载台处的电子束源。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述光纤传输处于从200nm到2000nm的波长的光。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述激光光源包含多个激光器及多个二向色镜。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述激光光源进一步包含多个激光器、偏振相依分束器及多个半波片。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述光纤是多模光纤。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述光纤是单模光纤。

8.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括安置于所述真空腔室中的从所述光纤接收所述光的波片。

9.根据权利要求8所述的设备，其中所述波片是半波片或四分之一波片。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述消色差与偏振单元包含：

转向镜，其安置于所述真空腔室中，其中所述转向镜从所述光纤接收所述光且经配置以将所述光从所述光纤引导于所述载台处；及

至少一个消色差型透镜，其安置于所述真空腔室中，其中所述消色差型透镜经配置以将从所述光纤接收的所述光准直及/或将所述光成像到所述晶片上。

11.根据权利要求1所述的设备，其中所述消色差与偏振单元包含曲面镜，其中所述曲面镜是球面的或抛物面的。

12.根据权利要求1所述的设备，其中来自所述激光光源的所述光处于多于一个波长。

13.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括围绕所述光纤的凸缘，其中所述凸缘安置于所述真空腔室的所述壁中，且其中所述凸缘包含：

外组件，其围绕所述光纤安置；及

聚合物层，其安置于所述光纤与所述外组件之间，其中所述聚合物层经径向压缩以形成气密密封。

14.根据权利要求13所述的设备，其中所述壁与管之间的所述气密密封进一步包含使用金属对金属密封。

15.根据权利要求1所述的设备，其进一步包括围绕所述光纤的凸缘，其中所述凸缘安置于所述真空腔室的所述壁中，其中所述凸缘是弹性体密封件，且其中所述弹性体密封件经径向压缩以形成气密密封。

16.一种方法，其包括：

通过光纤将来自激光光源的光引导到真空腔室，其中所述光纤将由所述激光光源产生的所有波长的光穿过所述真空腔室的壁传输到所述真空腔室中；

将所述光引导到所述真空腔室中的消色差与偏振单元；及

将所述光引导到紧固于安置在所述真空腔室中的载台上的晶片。

17.根据权利要求16所述的方法，其进一步包括在所述真空腔室中将电子束引导于所述晶片处。

18.根据权利要求16所述的方法，其中所述光具有从200nm到2000nm的波长。

19.根据权利要求16所述的方法，其中所述消色差与偏振单元包含转向镜或曲面镜。