[发明专利]压电器件

权利要求书

1.一种压电器件，具备：

压电阵列，包含多根由压电陶瓷构成的柱状的压电柱，多根所述压电柱沿着行方向以及列方向配置为二维阵列状，使得该多根压电柱的高度方向平行；

树脂部，填充于多根所述压电柱的间隙；

第1电极，包含多根在所述列方向上延伸的第1电极线，多根所述第1电极线沿着所述压电阵列的所述列方向排列配置，并与所述压电柱的第1端部连接；和

第2电极，包含多根在所述行方向上延伸的第2电极线，多根所述第2电极线沿着所述压电阵列的所述行方向排列配置，并与所述压电柱的第2端部连接，

其中，

所述压电杜以及所述树脂部均以厚度纵向振动模式进行共振振动，

所述树脂部的共振频率相对于所述压电柱的共振频率高15％以上。

2.根据权利要求1所述的压电器件，其中，

在从所述压电阵列的厚度方向俯视时，1根所述压电柱的面积相对于所述压电阵列的1点的面积为49％以上。

3.根据权利要求2所述的压电器件，其中，

在从所述压电阵列的厚度方向俯视时，1根所述压电柱的面积相对于所述压电阵列的1点的面积为71％以下。

4.根据权利要求1所述的压电器件，其中，

在从所述压电阵列的厚度方向俯视时，1根所述压电柱的尺寸相对于所述压电阵列的间距为70％以上。

5.根据权利要求4所述的压电器件，其中，

在从所述压电阵列的厚度方向俯视时，1根所述压电柱的尺寸相对于所述压电阵列的间距为84％以下。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的压电器件，其中，

所述树脂部的厚度小于所述压电柱的高度。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的压电器件，其中，

在所述第1电极以及所述第2电极的至少一方，覆盖所述树脂部的电极线的宽度小于覆盖所述压电柱的电极线的宽度。

8.根据权利要求7所述的压电器件，其中，

覆盖所述树脂部的电极线具有在所述压电阵列的厚度方向上贯通的开口。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的压电器件，其中，

在所述第1电极以及所述第2电极的至少一方，覆盖所述树脂部的电极线的厚度小于覆盖所述压电柱的电极线的厚度。