[发明专利]MEMS反光镜装置以及其制造方法

说明书

MEMS反光镜装置(3)具备框体(外侧可动框体13)、内侧可动构件(23)、第1梁(21)、反射反光镜构件(30)和连结构件(40)。内侧可动构件(23)配置在框体的内侧。第1梁(21)将内侧可动构件(23)可旋转地连结于框体。反射反光镜构件(30)具有反射面(30r)和背面(30s)。连结构件(40)连结反射反光镜构件(30)与内侧可动构件(23)。第1梁(21)在反射反光镜构件(30)的背面(30s)与内侧可动构件(23)连结。MEMS反光镜装置(3)可实现小型化。

技术领域

本发明涉及MEMS反光镜装置以及其制造方法。

背景技术

日本特开2003－270555号公报(专利文献1)公开了包括平面型促动器的光扫描装置。该光扫描装置具备固定部、外侧扭力杆、外侧可动板、内侧扭力杆、内侧可动板、反射反光镜和驱动机构。外侧可动板经由外侧扭力杆与固定部连结。内侧可动板经由内侧扭力杆与外侧可动板连结。反射反光镜设在内侧可动板上。驱动机构驱动外侧可动板以及内侧可动板。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003－270555号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献1所公开的光扫描装置中，内侧扭力杆与跟反射反光镜的外周缘部对应的内侧可动板的外周缘部连接。为了确保光扫描装置所需的反射反光镜的面积，需要增大内侧可动板的面积，光扫描装置的尺寸变大。本发明是鉴于上述的课题而做出的，其目的在于提供能实现小型化的MEMS反光镜装置以及其制造方法。

用于解决课题的方案

本发明的MEMS反光镜装置具备框体、内侧可动构件、第1梁、反射反光镜构件和连结构件。内侧可动构件配置在框体的内侧。第1梁将内侧可动构件可旋转地连结于框体。反射反光镜构件具有反射面和与反射面相反侧的背面。连结构件将反射反光镜构件与内侧可动构件连结。第1梁在反射反光镜构件的背面与内侧可动构件连结。

发明的效果

在本发明的MEMS反光镜装置中，由于第1梁在反射反光镜构件的背面与内侧可动构件连结，所以，不用增大内侧可动构件就能确保反射面的面积。本发明的MEMS反光镜装置可小型化。

附图说明

图1是实施方式1的光扫描装置的概略图。

图2是实施方式1的MEMS反光镜装置的概略后视立体图。

图3是实施方式1的MEMS反光镜装置的概略主视立体图。

图4是实施方式1所涉及的MEMS反光镜装置的、图2所示的剖面线IV－IV处的概略剖面图。

图5是实施方式1的MEMS反光镜装置的、图2所示的剖面线V－V处的概略剖面图。

图6是实施方式1的MEMS反光镜装置的、图2所示的剖面线VI－VI处的概略剖面图。

图7是实施方式1的MEMS反光镜装置的、图2所示的剖面线VII－VII处的概略剖面图。

图8是实施方式1的光扫描装置所包含的内侧可动构件的概略后视图。

图9是实施方式1的光扫描装置所包含的反射反光镜构件的概略后视图。

图10是示出实施方式1的MEMS反光镜装置的驱动原理的概略后视立体图。

图11是示出实施方式1的MEMS反光镜装置的动作状态的概略后视立体图。

图12是示出实施方式1的MEMS反光镜装置的动作状态的概略主视立体图。